[实用新型]自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置

权利要求书

1.一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于，包含：一废油储槽、至少一初滤单元、一初滤储槽、至少一精滤单元及一再生油槽；

该初滤单元，包含一与该废油储槽连通的废液进料泵及多个板框压滤膜组，前述板框压滤膜组各具有一进料口、一与该进料口导通的滤室、一装设在该滤室内的初滤滤材，以及一与该滤室相通的排放口，该排放口与该初滤储槽连通；

该精滤单元，包含一与该初滤储槽导通的精滤槽、一装设在该精滤槽内的精滤膜组，以及一与该精滤膜组连接的驱动机构，该精滤膜组具有多个精滤薄膜及一套穿前述精滤薄膜且形成水密连通的主集液管，该驱动机构具有一与该主集液管连通的抽油泵；以及该再生油槽，与该抽油泵连结。

2.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元的初滤滤材为不织布、活性碳、海棉中的一种。

3.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元更包含一输送机构，该输送机构是位于前述板框压滤膜组的下方，该输送机构具有一输送带体。

4.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该初滤单元更包含一初滤逆洗泵，该初滤逆洗泵是导接至该初滤储槽。

5.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该精滤单元的驱动机构具有一旋动马达，该旋动马达是与该主集液管连结。

6.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该精滤单元的精滤薄膜为超滤膜、纳滤膜中的一种。

7.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：所述处理装置更包含有一废液储槽，该废液储槽连接在该精滤单元与初滤单元之间。

8.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：所述处理装置更包含一油质监测单元，该油质监测单元连接于该精滤单元的精滤槽与该再生油槽之间。

9.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：该精滤单元更包含一刮动机构，该刮动机构分别夹设在两精滤薄膜之间，并与精滤薄膜保持线接触。

10.如权利要求1所述的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于：所述的处理装置还包含一控制各个单元所需的电源，以及在过滤过程中所需的进料、出料的电控单元。