[实用新型]自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置

说明书

技术领域

本实用新型是涉及一种废弃物的处理装置，尤其是一种能降低回收成本，且符合环保要求的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置。

背景技术

在制造半导体芯片及太阳能板的产业中，将硅晶棒切割成厚薄均一的硅晶圆（片）已属于标准流程的一环，其通常使用特殊的金属线锯（Wire Saw）为切割刀具，并采用高硬度的碳化硅（SiC）为研磨料，再辅以混有聚乙二醇（PEG）、二乙二醇（DEG）、丙二醇（PG）等矿物油酯为切削、冷却液，因此，当金属线锯高速往复运行时，就可配合碳化硅为介质来提高线锯的切削能力，以对硅芯片形成良好的切割作用，且切割同时，是将以聚乙二醇为主成份的切削液对着切割部位喷出，一方面除了作为冷却及润滑用途之外，另一方面尚可将切割时所产生的硅粉及杂质带出切割槽道，使晶圆切割制程能顺利且平稳的进行，以利进行后续制程。

在硅晶圆被切割、研磨的过程中，对切割区所喷出且使用过后的切削液，会挟带着切削时所产生的硅粉碎屑、杂质与被磨耗的碳化硅，不断地被排出切割区外，进而成为粒子浓度与浊度极高的浆状废油泥。以往，国内多数的硅晶圆切割厂商对于这些废油泥，只能以废弃物方式来处理，或是以重油进行焚化后掩埋，但是，仍需要支出高昂的费用请废弃物业者处理，且废油泥如果以焚化方式处理，也会产生大量的二氧化碳，相当不环保。此外，焚烧后也将对焚化炉的炉壁造成严重破坏，因此，对于硅晶圆切割研磨后所产生的废弃物（油泥），以焚化或掩埋均非理想的处理方法。

目前，国外业者已采用过滤设备来回收废油泥中的切削油料，其通常利用薄膜技术来进行固液分离，虽然此方式可获得部份液态再生油（切削液），供硅晶圆生产制造时回收再使用，但此法却也会产生大量的污泥，也只能以掩埋方式处理，且以固液分离方式来进行再生油的回收，其经济效益并不理想，主因在于废油泥进行薄膜过滤时，并没有获得良好的前处理，使得膜孔极易污堵（fouling），造成膜的操作周期降低，另一方面，如果进一步对回收油的质量加以分析，可以得知再生油的回收质量是与膜孔孔径成反比，虽然膜的孔径较大，所获得的再生油流通量虽高，但油内所含的硅粒与废料浓度也较高，相对得再生油的油质量量就低，这显然不利于再生油的操作寿命性，无法达成回收再生油的标准。

因此，如何在回收成本与环保之间达成平衡，至今仍没有一个有效率且符合操作成本的处理方式，使得硅晶圆切割业者在环保改善成本负荷上愈来愈高，如何积极提高生产质量及污染防治技术来兼顾经济与环保，降低生产成本，提高产业竞争力，已成为目前相关产业所迫切努力的目标。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能降低回收油成本，且符合环保要求的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，包含一废油储槽、至少一初滤单元、一初滤储槽、至少一精滤单元及一再生油槽；其特征在于：该废油储槽，用以储置废油泥。该初滤单元，包含一与该废油储槽连通的废液进料泵及多个板框压滤膜组，前述板框压滤膜组各具有一进料口、一与该进料口导通的滤室、一装设在该滤室内的初滤滤材，以及一与该滤室相通的排放口，藉由该废液进料泵以将废油泥经由该进料口泵送至该滤室内，并利用该初滤滤材将废油泥中粒径较大的固形物截留在该滤室内。该初滤储槽，用以暂存自前述排放口所释出的初滤滤液。该精滤单元，包含一与该初滤储槽导通的精滤槽、一装设在该精滤槽内的精滤膜组，以及一与该精滤膜组连接的驱动机构，该精滤膜组具有多个精滤薄膜及一套穿前述精滤薄膜且形成水密连通的主集液管，该驱动机构具有一与该主集液管连通的抽油泵，当该抽油泵作动时，利用负压吸力促使该精滤槽内的初滤滤液透析过前述精滤薄膜，进而自该主集液管内释出符合回收标准的再生油。该再生油槽，与该抽油泵连结，用以盛装经过该精滤单元处理后的再生油，供后续包装处理。

进一步，该初滤单元的初滤滤材可为不织布、活性碳、海棉等多孔质滤布其中一种或任一种以上的材料所组成。

进一步，该初滤单元更包含一输送机构，该输送机构是位于前述板框压滤膜组的下方，并具有一输送带体，用以承载由初滤滤材所截留下的泥渣。

进一步，该初滤单元更包含一初滤逆洗泵，该初滤逆洗泵是导接至该初滤储槽，以抽引该初滤储槽内的滤液回流至滤室内，进而对初滤材进行逆洗清洁。

进一步，该精滤单元的驱动机构更具有一旋动马达，该旋动马达是与该主集液管连结，以带动该主集液管上的精滤薄膜在该精滤槽内产生旋动。

进一步，该精滤单元的精滤薄膜可为超滤膜、纳滤膜其中一种。