[实用新型]基板烘烤设备

权利要求书

1.一种基板烘烤设备，其特征在于，包括：

用于沿与基板平行的方向输送基板的输送机构；

至少一个用于加热位于所述输送机构上的基板的加热机构。

2.根据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述输送机构为用于沿与重力方向垂直且与所述基板平行的方向输送所述基板的输送机构。

3.根据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，包括两个在所述输送机构输送所述基板的方向上相接排列的加热机构。

4.根据权利要求1所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述加热机构包括：

两块用于将位于所述输送机构上的基板夹在中间的、与位于所述输送机构上的基板平行的加热板。

5.根据权利要求4所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述加热机构还包括：

包围所述加热板和输送机构的腔室，所述腔室具有用于供所述基板通过的开口。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的基板烘烤设备，其特征在于，还包括：

在所述输送机构输送所述基板的方向上位于所述加热机构后方的、用于冷却位于所述输送机构上的基板的冷却机构。

7.根据权利要求6所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述冷却机构为吹风冷却机构。

8.根据权利要求1至5中任意一项所述的基板烘烤设备，特征在于，还包括：

用于控制所述输送机构输送所述基板的速度的控制单元。

9.根据权利要求6所述的基板烘烤设备，其特征在于，

所述控制单元为可编程序逻辑控制器、单片机、微处理器、电脑中的任意一种。

10.根据权利要求1至5中任意一项所述的基板烘烤设备，其特征在于，所述输送机构为传送带输送机构、辊道输送机构中的任意一种。