[实用新型]基板烘烤设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及烘烤技术领域，尤其涉及一种用于液晶显示面板的玻璃基板的基板烘烤设备。

背景技术

在液晶显示面板制造中，光刻是最重要的工艺步骤之一。在光刻过程中，需要对液晶显示面板的玻璃基板进行多次烘烤(Bake)，例如在涂敷光刻胶(PhotoResist)前需烘烤基板以除去其表面的水分、提高涂敷均匀性；在涂敷光刻胶后需烘烤基板以使光刻胶固化；曝光完成后还需再次烘烤基板以除去残留的显影液。

如图1所示，现有的基板烘烤设备为箱式设备，其包括多个沿垂直方向设置的加热盘2和冷却盘3，机械手9将基板1从光刻生产线上取下，并依次放入各加热盘2和冷却盘3中进行加热、冷却等操作。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：随着技术的发展，液晶显示面板的基板1的尺寸越来越大而厚度越来越薄，因此用机械手9传递基板1的过程中很容易因震动等原因等造成基板1的损伤(如破碎等)。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种基板烘烤设备，其可避免基板的损伤。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种基板烘烤设备，包括：

用于沿与基板平行的方向输送所述基板的输送机构；

至少一个用于加热位于所述输送机构上的基板的加热机构。

其中，“与基板平行的方向”是指与基板整体所处的平面相平行的方向，通常也是与基板的最大表面(即上、下表面)相平行的方向。

由于本实用新型的实施例的基板烘烤设备具有用于沿与基板平行的方向输送所述基板的输送机构，因此基板可从生产线上直接水平运动到基板烘烤设备中，不需要使用机械手等进行传递，从而避免了基板的损伤。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，所述输送机构为用于沿与重力方向垂直且与所述基板平行的方向输送所述基板的输送机构。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，包括两个在所述输送机构输送所述基板的方向上相接排列的加热机构。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，所述加热机构包括：两块用于将位于所述输送机构上的基板夹在中间的、与位于所述输送机构上的基板平行的加热板。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，所述加热机构还包括：包围所述加热板和输送机构的腔室，所述腔室具有用于供所述基板通过的开口。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，还包括：在所述输送机构输送所述基板的方向上位于所述加热机构后方的、用于冷却位于所述输送机构上的基板的冷却机构。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，所述冷却机构为吹风冷却机构。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，还包括：用于控制所述输送机构输送所述基板的速度的控制单元。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，所述控制单元为可编程序逻辑控制器、单片机、微处理器、电脑中的任意一种。

作为本实用新型实施例的一种优选方案，所述输送机构为传送带输送机构、辊道输送机构中的任意一种。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1为现有的基板烘烤设备的侧视结构示意图；

图2为本实用新型实施例的基板烘烤设备的剖面结构示意图；

其中附图标记为：1、基板；2、加热盘；21、第一加热机构；211、加热板；212、腔室；2121、开口；22、第二加热机构；221、加热板；222、腔室；2221、开口；3、冷却盘；31、冷却机构；311、喷气喷头；4、输送机构；41、输送基板的方向；9、机械手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供一种基板烘烤设备，包括：

用于沿与基板平行的方向输送所述基板的输送机构；

至少一个用于加热位于所述输送机构上的基板的加热机构。