[发明专利]用于制造LCD的光致抗蚀剂剥离组合物

权利要求书

1.一种用于制造LCD的光致抗蚀剂剥离组合物，所述组合物包含：

(a)1重量％～20重量％的式(1)的叔烷醇胺化合物；

(b)1重量％～60重量％的水；和

(c)20重量％～98重量％的有机溶剂，所述有机溶剂形成4～6元环的饱和或不饱和的烃链，该烃链具有一个以上的氧原子并由羟基(C₁-C₅)烷基取代基取代：

其中，

R是直链或支链的C₁-C₆亚烷基，且

X是OH或H。

2.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离组合物，其中，所述叔烷醇胺选自由甲基二乙醇胺、甲基二甲醇胺及其混合物组成的组。

3.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离组合物，其中，所述有机溶剂选自由下列化合物及其混合物组成的组：

4.如权利要求1所述的光致抗蚀剂剥离组合物，所述组合物还包含基于所述组合物为5重量％～80重量％的二醇，所述二醇具有化合物式R’-O(CH₂CH₂O)H，其中，R’是直链、支链或环状烃，也即支化烃或环烃。

5.如权利要求4所述的光致抗蚀剂剥离组合物，所述组合物还包含基于所述组合物为5重量％～80重量％的极性溶剂，所述极性溶剂选自由N-甲基吡咯烷酮、环丁砜、二甲亚砜、二甲基乙酰胺、单乙基甲酰胺及其混合物组成的组。

6.一种光致抗蚀剂剥离组合物，所述组合物包含：

(a)1重量％～20重量％的式(1)的叔烷醇胺化合物；

(b)1重量％～60重量％的水；和

(c)10重量％～98重量％的有机溶剂，所述有机溶剂形成4～6元环的饱和或不饱和的烃链，该烃链具有一个以上的氧原子并由羟基(C₁-C₅)烷基取代基取代，以及以重量计的余量的极性溶剂：

其中，

R是直链或支链的C₁-C₆亚烷基，且

X是OH或H。