[发明专利]减振器件有效
| 申请号： | 201080004937.6 | 申请日： | 2010-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN102292659A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | A.沃格勒;K.里夫;A.弗罗姆迈耶;A.L.布赖登 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;F16F15/023;G03F7/20;G02B27/64;F16F7/10;F16F15/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 吴艳 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 减振器 | ||
1.减振器件，用于投射曝光机的光学元件(1)，包括布置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器(3)，所述质量体减振器(3)各自具有至少一个减振器质量体(30)和至少一个减振元件(32)，其特征在于，所述至少两个质量体减振器(3)的减振器质量体(30)借助于至少一个连接元件(4)相互连接。
2.如权利要求1所述的减振器件，其特征在于，所述连接元件(4)的质量小于减振器质量体(30)的质量。
3.如权利要求1或2所述的减振器件，其特征在于，所述连接元件(4)具有充分的刚度，以将振动吸收器的寄生振动模式偏移到非关键范围中。
4.如权利要求1-3中任一项所述的减振器件，其特征在于，至少两个减振器质量体(30)和一个连接元件(4)设计为相连的部件，优选为一体部件。
5.如权利要求4所述的减振器件，其特征在于，所述部件塑造为环形元件，优选为封闭的环形元件。
6.如权利要求4或5所述的减振器件，其特征在于，所述部件具有接头，优选为一体式接头，通过所述接头，所述减振器质量体(30)和与之相邻的连接元件(4)发生振动传递的解耦。
7.如权利要求6所述的减振器件，其特征在于，将所述部件的截面的减缩部设置为一体式接头(34)。
8.如权利要求4-7中任一项所述的减振器件，其特征在于，所述部件在至少一个支承点(36)处耦联至待减振元件。
9.如权利要求1-8中任一项所述的减振器件，其特征在于，所述质量体减振器中的至少一个具有至少两个减振元件(32)或更多，所述减振器质量体(30)能够借助于减振元件(32)耦联至待减振元件。
10.光学元件(1)，用于投射曝光机(5)的投射物镜(51)，具有如权利要求1-9中任一项所述的减振器件。
11.如权利要求10所述的光学元件，其特征在于，所述减振器件紧固在所述元件的周缘上。
12.如权利要求10所述的光学元件，其特征在于，所述减振器件(3)紧固在容纳所述元件(1)的保持器(20)的周缘上。
13.投射曝光机，具有至少一个如权利要求10-12中任一项所述的光学元件(1)。
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