[发明专利]减振器件

说明书

技术领域

本发明涉及投射曝光机的光学元件的减振器件。本发明还涉及一种光学元件，其用于投射曝光机的照明系统和投射系统，或用于以减振器件确切定位光学元件的系统。

背景技术

半导体光刻用投射曝光机用于半导体部件和其它精细结构器件的光刻生产。在该情况下，掩模(掩模母版)的图案被投射到通常涂覆有感光层的衬底(晶片)上。为此，投射曝光机包括投射物镜，该投射物镜具有多个光学元件，例如透镜、反射镜、光栅或平面平行板，它们经由底座支撑在投射物镜的物镜壳体中。光学元件使照明器件发出的电磁辐射发生折射和/或反射。

在例如US6,229,657B1中公开了一种用于投射物镜的光学元件的安装技术。US6,229,657B1公开了包括内环和外环的底座，内环永久地连接于光学元件，并且内环和外环经由分布在周缘上的接头特别是一体式接头(solidjoint)相互连接。

使用所谓的操作器来抵消像差。这种操作器包括光学元件和分布在光学元件的圆周上的调节元件，借助于调节元件，光学元件能够定位和/或变形。对光学元件的这些操作导致成像的改变，其抵消整个系统的像差。在一个改进中，用于这种操作器的底座包括容纳光学元件的内环或保持器、和外环或支撑器件，能够借助于调节元件来相对于外环移动内环。

接头和/或调节元件就变形而言，使光学元件解耦，优选与外部结构解耦。光学元件与外部结构之间的连接优选具有低刚度。

另外，在微技术(microtechnology)中需要对非常细小的结构成像。较大因此也较重的光学元件可用于满足这些需求。光学元件的低刚度和较大质量两者分别降低系统的固有频率。这增大了从外部激起光学元件振动的风险。

因此在例如WO2006/084657A1中公开了在外环与内环之间设置减振器元件。

此外，在WO2007/006577A1中公开了在光学元件上具有一个或多个附加质量体的质量体减振器，借助于附加质量体通过摩擦来耗失光学元件的振动能量。这种附加质量体在以下表示为减振器质量体。WO2007/006577A1公开了借助于减振器元件将环形减振器质量体装配在光学元件或内环上。减振器元件布置在环形减振器质量体与光学元件或内环之间，并且是例如纤维材料，例如纸、毡或弹性体。这种质量体减振器也表示为环形吸收器。对于具有一个自由度的系统，借助于环形吸收器能够取得良好的减振。

进一步已知的是所谓分体式吸收器(segmented absorber)，其布置成彼此间隔开，沿光学元件的周缘分布。各个分体式吸收器包括减振器质量体和减振器元件。这种分体式吸收器能实现多个自由度的减振。

发明内容

本发明的一个目的是提供一种减振器件，其用于吸收或耗失以多个自由度被激起振动的投射曝光机的光学元件的振动能量。本发明的再一目的是提供一种具有减振器件的投射曝光机、和用于投射曝光机的投射物镜的光学元件。

该目的和其它目的通过具有权利要求1、10和13的特征的主题得以实现。本发明的其它优点来源于从属权利要求。所有权利要求的描述在这里通过引用并入发明内容。

根据本发明的第一方面，提供了一种用于投射曝光机的光学元件的减振器件，其包括布置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器，所述质量体减振器各自具有至少一个减振器质量体和至少一个减振元件，并且所述质量体减振器的减振器质量体借助于至少一个连接元件相互连接。

待减振元件可具有任意的三维受限几何形状。例如，该元件塑造成透镜或圆盘形状。

在本发明的上下文中，“减振元件”指定为具有弹簧和/或减振性质的元件。在简单实施例中可设置弹簧元件。减振元件优选包括耗失振动能量的材料，例如纸、毡和/或弹性体。在该情况下出现的是，含氟弹性体特别是氟橡胶，例如具有良好的耗失振动能量的性质。同时，氟橡胶因耐真空和良好的抗热和抗紫外线能力而适于在投射物镜中应用。根据应用，其它弹性体也是有利的。