[发明专利]柔性基板位置控制设备

权利要求书

1.一种处理设备中的柔性基板位置控制设备，该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板，并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，

所述控制设备包括：

一对夹持辊，夹持基板的上边缘；

支撑机构，可旋转地支撑所述一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；

施力装置，用于经由支撑机构向所述一对夹持辊施加压力；以及

调节装置，用于调节由施力装置施加的压力，

其中，所述一对夹持辊具有倾斜度，其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘，且所述一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。

2.一种处理设备中的柔性基板位置控制设备，该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板，并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，

所述控制设备包括：

支撑机构，可旋转地支撑所述一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；

施力装置，用于经由支撑机构向所述一对夹持辊施加压力；以及

调节装置，用于调节由施力装置施加的压力，

其中，所述一对夹持辊具有倾斜度，其中各个辊的轴方向朝向基板宽度方向的边缘移离基板的夹持面，且所述一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。

3.根据权利要求1所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

构成所述一对夹持辊的各个辊的周面具有弧形截面，且辊由支撑机构支撑以便于在轴向偏移时能够互相接触和分离。

4.根据权利要求1所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

构成所述一对夹持辊的辊的至少一个是锥形辊，具有在其轴向倾斜的周面。

5.根据权利要求2所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

构成所述一对夹持辊的每个辊都是锥形辊，具有在其轴向倾斜的周面。

6.根据权利要求5所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

所述一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面相对于基板宽度方向具有倾斜度。

7.根据权利要求1或2所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

所述支撑机构包括：第一连杆，所述第一连杆使得所述一对夹持辊中的一个或者两个辊能向彼此接触和分离的方向移动，以及第二连杆，所述第二连杆使得夹持辊能向基板宽度方向移动，

所述施力装置包括：第一施力构件，所述第一施力构件在夹持辊被压在一起的方向上对第一连杆施力，以及第二施力构件，所述第二施力构件朝向基板宽度方向的边缘在展开方向上对第二连杆施力，且所述压力的调节装置包括所述第二施力构件的施力调节装置。

8.根据权利要求7所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

所述支撑机构还包括第三连杆，所述第三连杆使得所述第一连杆的支撑点向基板宽度方向移动。

9.根据权利要求1或2所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

所述支撑机构包括：第一连杆，所述第一连杆使得所述一对夹持辊中的一个或者两个在彼此接触和分离的方向上移动；第二连杆，所述第二连杆在基板宽度方向上枢轴地支撑所述一对夹持辊中的一个或者两个；以及复位弹簧，所述复位弹簧经由第二连杆对夹持辊中的一个或者两个在与基板宽度方向的边缘相反的方向上施力，并且所述施力装置包括：第一施力构件，所述第一施力构件对第一连杆在夹持辊接触和分离的方向上施力，而夹持辊中的一个或者两个构成为以第一施力构件的压力和复位弹簧的复位力处于平衡的摆角被按压。

10.根据权利要求1或2所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

还包括一对下夹持辊，其夹持所述基板的所述下边缘；以及用于所述一对下夹持辊的支撑机构和施力装置，与上述的支撑机构和施力装置以相同的方式构成。

11.根据权利要求10所述的柔性基板位置控制设备，其特征在于，

所述处理设备是薄膜层叠体制造设备，设置有以均等的间距沿着基板的传输路径排列成行的作为处理单元的多个沉积单元，依序在基板的表面连续地层叠和形成薄膜，同时间歇地以与沉积单元相对应的间距传输基板，并且一对上夹持辊和所述一对下夹持辊设置于多个沉积单元之间。