[发明专利]基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法

权利要求书

1.一种基板表面的封闭装置，其特征在于，

具备内置了将片状封闭材料向基板上粘贴的薄膜粘合装置的腔、用于将该基板运入该腔的比该腔容积小的前室、将在该薄膜粘合装置粘贴了该片状封闭材料的该基板从该腔内排出的比该腔容积小的后室，

在该前室的基板运入口侧和腔侧以及该后室的腔侧和基板排出口侧分别设置门阀，且该腔内也包括基板被运入·排出时在内，总是被保持为高真空状态，

该薄膜粘合装置由

以规定的间隔运送从该前室运入的该基板的基板运送构件、

将多条夹着片状封闭材料并设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的薄膜卷放机构部、

将该覆膜从由该薄膜卷放机构部卷放的该多条薄膜分别剥落，进行卷绕的覆膜卷绕机构部、

从在该覆膜卷绕机构部被剥取了该覆膜的该多条薄膜分别剥取成为由该基板运送构件运送的该基板的间隔的该密封状封闭材料的部分，并在该多条薄膜的各自的该基膜上形成与该基板分别对应的多个该密封状封闭材料的基板间处理机构部、

按照由该基板运送构件从该前室运入的每个该基板，进行该基板的前端部和来自该基板间处理机构部的该薄膜的与该基板对应的该密封状封闭材料的前端的定位的校直机构部、

将来自该校直机构部的该多条薄膜的与该基板对应的多个该密封状封闭材料向由该基板运送构件运送的该基板粘贴的粘贴机构部、

从在来自该粘贴机构部的该基板上粘贴了该片状封闭材料的该多条薄膜分别剥取该基膜，并进行卷绕的基膜卷绕机构部构成；

该基板运送构件将粘贴有在该基膜卷绕机构部被剥取了该多条薄膜的该基膜的多个片状封闭材料的状态下的该基板向该后室排出。

2.如权利要求1所述的基板表面的封闭装置，其特征在于，

在上述前室和上述后室，具备用于使室内从干燥空气状态成为与上述腔内相等的高真空状态的真空泵。

3.如权利要求1或2所述的基板表面的封闭装置，其特征在于，

上述基板处理机构部由

搭载上述多个薄膜的表面被处理为非粘接性的工作台、

将上述多个薄膜以其长度方向的规定的间隔向该工作台的表面按压的一对按压板、

对上述多个薄膜的由该一对按压板按压在该工作台的表面的部分之间的上述片状封闭材料在其长度方向按照上述基板的间隔进行切割的半切割用圆盘刀、

将上述多个薄膜的由该半切割用圆盘刀切割的部分的上述片状封闭材料从上述基膜剥离的带剥离机构构成。

4.如权利要求1、2或3所述的基板表面的封闭装置，其特征在于，

在上述粘贴机构部和上述基膜卷绕机构部之间设置冷却上述基板的基板冷却机构部。

5.一种有机EL面板的制造方法，其特征在于，

包括

打开设置在容积小的前室的基板运入口的第一门阀，将框状地涂覆有密封剂且在该密封剂的框的内侧设置了多个EL元件的基板运入该前室内的运入工序、

将该基板从该基板运入口运入该前室且将该第一门阀关闭，使该前室内成为高真空状态的真空化工序、

打开设置在高真空状态的该前室和被保持为高真空状态的容积大的腔之间的第二门阀，将该基板从该前室向该腔内运送，在该基板向该腔运送后，关闭该第二门阀的运送工序、

在该腔内，将片状封闭材料向该基板的该密封剂的框内粘贴的封闭材料粘贴工序、

使容积小的后室内成为高真空状态，打开设置在该腔和该后室之间的第三门阀，将粘贴有该片状封闭材料的该基板从该腔向该后室运送的运送工序、

关闭设置在该后室的基板排出口的第三门阀，打开第四门阀，使该后室内成为大气状态，将该后室内的粘贴了该片状封闭材料的该基板从该基板排出口排出的排出工序；

该封闭材料粘贴工序包括

以规定的间隔依次运送从该前室运入的该基板的工序、

将多条夹着该片状封闭材料并设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的工序、

从被卷放的该多条薄膜分别将该覆膜剥落并卷绕的工序、

从被剥取了该覆膜的该多条薄膜分别剥取成为被运送的该基板的间隔的该密封状封闭材料部分，并在该多条薄膜的各自的该基膜上形成与该基板分别对应的多个该密封状封闭材料的工序、

按照从该前室运入的每个该基板，进行该基板的前端部和该薄膜的与该基板对应的该密封状封闭材料的前端的定位的工序、

在被运送的该基板上粘贴该多条薄膜的与该基板对应的该多个密封状封闭材料的工序、

将粘贴了该多个密封状封闭材料的该基板冷却的工序、

从在被冷却的该基板上粘贴有该片状封闭材料的该多条薄膜分别剥取该基膜并卷绕的工序、

将粘贴有该片状封闭材料的该基板向该后室排出的工序。