[发明专利]基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机EL(Electro Luminescence：电致发光)面板的制造，尤其涉及在涂覆(设置)了有机EL元件的基板上粘贴片状封闭材料进行封闭的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法。

背景技术

有机EL面板是做成在被粘合的2张基板之间纵横排列了多个有机EL元件的结构的部件，但在制造相关的有机EL面板时，以往，这些有机EL元件分别被封闭材料封闭。

作为这样的有机EL面板的制造方法的一个以往例，有将有机EL元件从其上下用水湿透过率小的有机薄膜夹住，将这些有机薄膜的从有机EL元件的上下面溢出部分通过热压接来一体化，用相关的有机薄膜将该有机EL元件封闭，将相关的有机EL元件用于有机EL面板的例子(例如参见专利文献1)。

另外，虽与有机EL面板的制造无关，但也提出了在腔内的真空环境气体内将薄膜层叠(粘贴)的技术(例如参见专利文献2)。

该专利文献2记载的技术是在基膜上层叠保护薄膜的技术，是将基膜从设置在腔的外侧的供给轧辊送入腔内，另外，也将保护薄膜从设置在腔的外侧的供给轧辊送入腔内的技术，是保护薄膜被加压轧辊加热、加压而被粘合在该基膜上的技术。这里，粘合在基膜上的保护薄膜从设置了开闭自由的闸门的导入口被导入腔内。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平2-197075号公报

专利文献2：日本特开2002-52610号公报

但是，上述专利文献1记载的技术是按照每个有机EL元件以覆盖其整体的方式进行层叠的技术，由于是像这样在由一个一个的有机薄膜制作层叠的有机EL元件后，用于制作有机LE元件的技术，所以，成为花费工时的作业，且由于相关的层叠加工在大气中进行，因此，还存在受到周围环境的影响，混入尘埃或受到湿气等的影响，导致EL元件的特性劣化的可能性。

与此相对，在上述专利文献2记载的技术中，由于在腔内的真空环境气体内进行层叠加工，所以，与在大气中进行层叠加工的情况相比，能够抑制在层叠时产生薄膜的皱褶、在薄膜(即，保护薄膜)和粘合了它的物品(即，基膜)之间产生气泡，但是，由于这些基膜、保护薄膜从外部被连续地导入腔内，所以，存在从它们的导入口向腔内的空气的泄漏，导致腔内的真空度的降低，存在湿气、尘埃等也随着该空气的泄漏进入腔内，使粘合了保护薄膜的制品的性能劣化的问题。

另外，在上述专利文献2记载的技术中，在保护薄膜的导入口设置开闭自由的闸门，考虑了通过调整它的开闭状态，尽量降低空气向腔内的泄漏的情况，据此，若闸门成为接触保护薄膜那样的状态，则会损伤该保护薄膜，给被层叠加工的制品的特性带来不良影响。

本发明的目的是解决相关的问题，提供一种能够实施节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工的基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法。

发明内容

为了实现上述第一目的，本发明的特征在于，具备内置了将片状封闭材料向基板上粘贴的薄膜粘合装置的容积大的腔、用于将该基板运入腔的比腔容积小的前室、将在薄膜粘合装置粘贴了片状封闭材料的基板从该腔内排出的比腔容积小的后室，在前室的基板运入口侧和腔侧以及后室的腔侧和基板排出口侧分别设置门阀，且腔内也包括基板被运入·排出时在内，总是被保持为高真空状态，薄膜粘合装置由以规定的间隔运送从前室运入的基板的基板运送构件、将多条夹着片状封闭材料设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的薄膜卷放机构部、将覆膜从由薄膜卷放机构部卷放的多条薄膜分别剥落，进行卷绕的覆膜卷绕机构部、从在覆膜卷绕机构部被剥取了覆膜的多条薄膜分别剥取成为由基板运送构件运送的基板的间隔的密封状封闭材料的部分，并在多条薄膜的各自的基膜上形成与基板分别对应的多个密封状封闭材料的基板间处理机构部、按照由基板运送构件从前室运入的每个基板，进行基板的前端部和来自基板间处理机构部的薄膜的与基板对应的密封状封闭材料的前端的定位的校直机构部、将来自校直机构部的多条薄膜的与基板对应的多个密封状封闭材料向由基板运送构件运送的基板粘贴的粘贴机构部、从在来自粘贴机构部的基板上粘贴了片状封闭材料的多条薄膜分别剥取基膜，并进行卷绕的基膜卷绕机构部构成；基板运送构件将粘贴有在基膜卷绕机构部被剥取了多条薄膜的基膜的多个片状封闭材料的状态下的基板向后室排出。

另外，本发明的特征在于，在前室和后室，具备用于使室内从干燥空气状态成为与上述腔内相等的高真空状态的真空泵。