[发明专利]在线热处理装置

权利要求书

1.一种在线热处理装置，能够对基板进行连续的热处理，其特征在于，包括：

腔室，提供对所述基板进行热处理的空间，在前后相对置地形成有开口；

驱动辊单元，包括支承并移动所述基板的驱动辊和贯穿所述驱动辊的空心形状的旋转轴；以及

加热器，配置在所述旋转轴的内侧；

所述驱动辊单元沿着所述基板的移动方向设置有多个，用于向所述腔室装载所述基板及从所述腔室卸载所述基板，

所述加热器的两端固定在所述腔室的外壁上，且不与所述旋转轴的动作联动。

2.如权利要求1所述的在线热处理装置，其特征在于，

所述驱动辊单元被设置成与所述基板的装载及卸载方向正交。

3.如权利要求1所述的在线热处理装置，其特征在于，

多个所述驱动辊单元相互联动。

4.如权利要求3所述的在线热处理装置，其特征在于，还包括：

联动带轮，分别设置在多个所述旋转轴的一端；以及，

联动皮带，用于连结所述多个联动带轮；

通过多个所述联动带轮中的某一个被驱动，多个所述驱动辊单元相互联动。

5.如权利要求1所述的在线热处理装置，其特征在于，

在所述旋转轴的一端上连结用于接收外部驱动力的主动带轮。

6.如权利要求1所述的在线热处理装置，其特征在于，

在所述加热器的两端上设置有用于接收外部电流的端子。

7.如权利要求1所述的在线热处理装置，其特征在于，

在所述加热器的两端上设置有将所述加热器固定在所述腔室的外壁上的固定法兰。

8.如权利要求1所述的在线热处理装置，其特征在于，在所述加热器的内部设置有：

管，用于流入冷却水或冷却气体；以及加热线，通过外部电源发热且包裹所述管的外表面。

9.如权利要求1所述的在线热处理装置，其特征在于，

在所述加热器的内部两端上设置有从外部接收电流的导体，在所述加热器的内部中央设置有从所述导体接收电流而发热的发热体。

10.如权利要求9所述的在线热处理装置，其特征在于，

所述发热体的长度形成为与所述基板的长度相对应。