[发明专利]基板用涂敷装置

权利要求书

1.一种基板用涂敷装置，包括：

喷嘴，喷出应涂敷于板状基板的表面的涂敷液，且在该喷嘴与基板的表面之间设置有规定间隙的位置上沿规定的扫描方向相对于基板的表面相对移动；

形状测定单元，以光学方式测定从所述喷嘴向基板喷出的涂敷液的涂道形状；

形状变形单元，使从所述喷嘴喷出的涂敷液的涂道形状变形；以及

控制单元，根据所述形状测定单元测定的涂道形状而生成对所述形状变形单元的动作进行控制的控制数据。

2.根据权利要求1所述的基板用涂敷装置，其中，

所述形状测定单元包括第一拍摄单元，所述第一拍摄单元从与所述扫描方向正交且与基板的表面正交的面内的位置拍摄所述喷嘴和基板的表面之间的从所述喷嘴喷出的涂敷液的涂道形状。

3.根据权利要求1所述的基板用涂敷装置，其中，

还具有平台，所述平台在上表面载置有基板且具有从所述上表面贯通至底面的贯通孔，

所述形状测定单元包括第二拍摄单元，所述第二拍摄单元配置于所述贯通孔且对从所述喷嘴向所述平台上载置的透光性基板的表面喷出的涂敷液的形状进行拍摄。

4.根据权利要求1所述的基板用涂敷装置，其中，

所述控制单元根据所述形状测定单元测定的涂道形状和从所述喷嘴至基板的表面的距离，生成所述控制数据。

5.根据权利要求1所述的基板用涂敷装置，其中，

所述形状变形单元为压力控制单元，该压力控制单元在扫描方向的上游侧与喷嘴接近而配置，并控制喷嘴和基板的表面之间的气压。

6.根据权利要求1所述的基板用涂敷装置，其中，

所述形状变形单元为供给量控制单元，该供给量控制单元控制供给至所述喷嘴的涂敷液的供给量。