[发明专利]封装构件组件、封装构件组件的制造方法、封装构件、以及使用了封装构件的压电振动器件的制造方法有效
申请号: | 201080013232.0 | 申请日: | 2010-04-02 |
公开(公告)号: | CN102362430A | 公开(公告)日: | 2012-02-22 |
发明(设计)人: | 佐藤俊介;幸田直树;吉冈宏树 | 申请(专利权)人: | 株式会社大真空 |
主分类号: | H03H3/02 | 分类号: | H03H3/02;H01L23/04;H01L23/08;H03H9/02 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 张丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 封装 构件 组件 制造 方法 以及 使用 压电 振动 器件 | ||
1.一种封装构件组件,一体地形成有多个封装构件,该封装构 件组件的特征在于,
在由玻璃或者晶体构成的晶片的至少背主面形成多个有底孔,
在所述晶片的背主面形成多个外部端子,
所述外部端子与粘附在所述背主面的有底孔的内壁面的侧面导 体连接。
2.一种封装构件,是以玻璃或者晶体为基材的俯视为矩形的封 装构件,其特征在于,
所述封装构件在底面具有多个外部端子,
在封装构件的外侧面或者外周棱部具备多个切口部,
在所述切口部的内壁面粘附或者填充侧面导体,所述侧面导体与 所述外部端子连接。
3.根据权利要求2所述的封装构件,其特征在于,
在所述封装构件的底面形成对置边,沿着所述对置边形成至少大 于等于2个的矩形状的外部端子,
至少大于等于2个的所述外部端子以所述底面的中心为基准而 点对称地配置,并且在一侧视图中配置成相互的外部端子的一部分重 叠。
4.一种封装构件组件的制造方法,该封装构件组件是权利要求 1所述的封装构件组件,该制造方法的特征在于,具有:
有底孔形成工序,在由玻璃或者晶体构成的晶片的至少背主面形 成多个有底孔;
蒸镀层形成工序,至少在所述背主面的有底孔周边、所述背主面 的有底孔的内壁面以及内底面形成蒸镀层;以及
电镀层形成工序,在所述背主面的有底孔的内壁面的蒸镀层、和 与该蒸镀层连接且在所述背主面的有底孔周边的蒸镀层上形成电镀 层。
5.一种压电振动器件的制造方法,该压电振动器件具有封装构 件、压电振动板以及盖体,该制造方法的特征在于,具有:
搭载工序,在权利要求1所述的封装构件组件的表主面侧搭载形 成有激励电极的多个压电振动板;
密封工序,通过将多个盖体与所述封装构件组件、或者所述多个 压电振动板接合而气密密封所述激励电极;以及
分割工序,通过沿着假想线切断封装构件组件而获得多个压电振 动器件,该假想线通过所述封装构件组件的背主面的有底孔。
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