[发明专利]固体摄像元件及其制造方法、放射线摄像装置及其制造方法、以及固体摄像元件的检查方法

权利要求书

1.一种固体摄像元件，其特征在于，

具备：

受光部，各自包含光电二极管的M×N个像素二维排列成M行N列而形成，其中，M、N为2以上的整数；

多个信号输出部，分别与各自包含2个以上的列且所述N列被分割而成的多个列组对应而设置；及

垂直移位寄存器，按各行控制来自所述像素的电荷输出，

所述多个信号输出部分别具有：

2个以上的积分电路，分别对应于各列组中所含的所述2个以上的列而设置，将从各列中所含的所述像素输出的电荷存储并转换为电压信号；

2个以上的保持电路，连接于所述2个以上的积分电路各自的输出端；

水平移位寄存器，从所述2个以上的保持电路依次输出电压信号；

第1输入端子电极组，包含多个端子电极，所述多个端子电极分别输入进行所述积分电路的复位的复位信号、控制向所述保持电路输入电压信号的保持信号、开始所述水平移位寄存器的动作的水平起始信号及规定所述水平移位寄存器的时钟的水平时钟信号；及

第1输出端子电极，提供来自所述保持电路的输出信号，

该固体摄像元件进一步具备：

第2输入端子电极组，与所述第1输入端子电极组分开设置，并包含多个分别接收所述复位信号、所述保持信号、所述水平起始信号及所述水平时钟信号的端子电极；

输入用开关，为了在所述第1及第2输入端子电极组之间对与所述积分电路、所述保持电路及所述水平移位寄存器的连接进行切换而设置于各信号输出部；

第2输出端子电极，与所述第1输出端子电极分开设置，并提供所述输出信号；及

输入信号配线及输出信号配线，所述输入信号配线为了连接各信号输出部的所述输入用开关和除了所述水平起始信号用的端子电极的所述第2输入端子电极组而遍及所述多个信号输出部设置，所述输出信号配线为了连接各信号输出部的所述保持电路和所述第2输出端子电极而遍及所述多个信号输出部设置。

2.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，

所述多个信号输出部分别与所述受光部的沿行方向的一边邻接而配置，所述垂直移位寄存器与所述受光部的沿列方向的另一边邻接而配置，

所述第2输入端子电极组及所述第2输出端子电极配置于与所述多个信号输出部中最靠近所述垂直移位寄存器的所述信号输出部邻接的区域。

3.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，

所述第2输入端子电极组中所含的所述水平起始信号用的端子电极连接于所述多个信号输出部中位于最边缘的所述信号输出部的所述水平移位寄存器，当所述水平起始信号输入至该端子电极时，其他所述信号输出部的所述水平移位寄存器接收来自邻接的所述信号输出部的所述水平移位寄存器的末级的输出作为所述水平起始信号。

4.如权利要求3所述的固体摄像元件，其特征在于，

在各信号输出部中能够变更所述水平移位寄存器的扫描方向。

5.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，

所述多个信号输出部分别进一步具有输入电源电压的第1电源用端子电极，

该固体摄像元件除了具备有所述多个信号输出部中的所述第1电源用端子电极以外，还另外具备有接收所述电源电压的第2电源用端子电极，

所述第1及第2电源用端子电极通过遍及所述多个信号输出部而设置的配线相互连接。

6.如权利要求1所述的固体摄像元件，其特征在于，

进一步具备输出用开关，其为了对所述保持电路与所述输出信号配线的连接/非连接进行切换而设置于各信号输出部。

7.如权利要求6所述的固体摄像元件，其特征在于，

所述输出用开关在所述水平移位寄存器开始动作之际，将所述保持电路和所述输出信号配线设为连接状态，而在所述水平移位寄存器结束动作之际，将所述保持电路和所述输出信号配线设为非连接状态。

8.一种放射线摄像装置，其特征在于，

具备：

如权利要求1所述的固体摄像元件；及

闪烁器，设置于所述受光部上，根据入射了的放射线产生闪烁光并将放射线像转换为光像，并向所述受光部输出该光像。