[发明专利]基板清洗方法和基板清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及通过研磨而清洗基板的基板清洗方法和基板清洗装置，特别是涉及清洗液晶面板用的玻璃基板的基板清洗方法。

背景技术

作为液晶显示装置的构成部件的液晶面板具有使一对玻璃基板以确保规定空隙的状态相对的结构。用于制造液晶面板的玻璃基板被要求严格的质量。具体地，除了玻璃组成的特性(光学的、热的、机械的、化学的特性等)和玻璃基板的形状(外形尺寸、板厚、直角度、直进性、翘曲等)之外，还被要求表面的质量(污染、损伤等)也优良。

当玻璃基板的表面具有超过允许范围的损伤或者污染时，成为引起薄膜晶体管(TFT)或者信号电极等的断线、短路的原因。因此，玻璃基板表面的质量必须良好。

此外，在制造液晶面板的情况下，使一对玻璃基板贴合，将该贴合的玻璃基板切断成规定尺寸后，在一对玻璃基板之间注入液晶并密封，然后，在玻璃基板的两面贴附偏光板，由此进行制造。在液晶面板的制造工序中，当将贴合的玻璃基板切断成规定尺寸时，产生如下状态：由于切断而产生的碎玻璃(玻璃粉末、小的残片)以粘着的方式附着(固定)于玻璃基板表面。另外，当密封一对玻璃基板的封入液晶后的注入口时，产生密封剂附着于注入口附近的玻璃表面的状态(例如，专利文献1、2)。

这样，在液晶面板的制造工序中，当碎玻璃或者密封树脂等异物附着于玻璃基板表面时，在后续工序的偏光板的贴附中产生不良，因此需要除去这些异物。

作为除去附着于液晶面板表面的异物的装置，公知有刀刃旋转型的碎玻璃除去装置(参照专利文献3)。在刀刃旋转型的除去装置中，因为能对2个刃具赋予自转和公转而除去碎玻璃，所以能提高除去作业的效率。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2002-66899号公报

专利文献2：特开2004-212862号公报

专利文献3：特开平10-39282号公报

专利文献4：特开平2-106995号公报

发明内容

发明要解决的问题

近年来，构成液晶面板的玻璃基板的尺寸大型化的倾向增强。其中，当要使用刀刃旋转型的除去装置除去附着于大型液晶面板表面的异物(碎玻璃)时，与小型液晶面板的情况的除去作业比较，除去作业的处理时间变长。

另外，在专利文献4中公开了一种通过使辊刷旋转而清洗印刷板的单面的装置。但是，考虑到即使在使用该印刷板的单面清洗装置的情况下也不能在辊刷的旋转中可靠地除去附着于液晶面板表面的异物，在该情况下有可能产生后续工序中的不良。

在那样的状况下，本发明人研究了如下方法：使用由辊型的磨石清洗液晶面板表面的装置清洗基板表面。如果利用比液晶面板的宽度长的辊型磨石清洗液晶面板，与刀刃旋转型的除去装置比较，能大幅缩短除去作业的处理时间。另外，在利用辊型磨石清洗的情况下，与使用旋转辊刷时比较，能更可靠地除去附着于液晶面板表面的异物。

图1(a)是示意性示出本发明人研究的辊型磨石的基板清洗装置1000的构成的俯视图。基板1100(例如，液晶面板)配置于工作台1300上，在箭头1500的方向行进。在工作台1300的上方配置有多个辊型磨石1200，当基板1100在辊型磨石1200与工作台1300之间通过时，利用旋转的辊型磨石1200研磨而清洗基板1100的表面。辊型磨石1200的长度比基板1100的宽度长，所以仅使基板1100在箭头1500的方向行进，就可清洗基板1100的表面整体。因此，如果使用该基板清洗装置1000，与刀刃旋转型的除去装置比较，能大幅缩短除去作业的处理时间。

但是，本发明人发现该基板清洗装置1000潜在地存在如下的问题。即，所清洗的基板1100不是始终恒定的尺寸而是存在各种尺寸。因此，在研磨而清洗小尺寸的基板1100之后，接着研磨而清洗大尺寸的基板1100时，辊型磨石1200产生偏磨损，其结果是，大尺寸的基板1100的研磨会产生不均。关于该现象，一边参照图1(b)和(c)一边作进一步说明。

图1(b)和(c)分别是用于说明利用如箭头1550那样旋转的辊型磨石1200研磨小尺寸的基板1100A和大尺寸的基板1100B的情况的截面图。