[发明专利]扫描方法

权利要求书

1.一种方法，包括：

将样品的第一部分暴露于带电粒子束，以产生该样品的该第一部分的第一图像；

在控制系统接收关于方向的输入；

确定在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分是否已经先前被暴露以产生该第二部分的图像；

如果该第二部分已经在先前被暴露，则从存储器取回该第二部分的图像；以及

如果该第二部分没有在先前被暴露，则将在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分暴露于带电粒子束以产生第二图像；

将该第一图像的至少一部分与该第二图像或者该第二部分的取回图像结合以产生第三图像；以及

在用户界面上显示该第三图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述将该样品的该第一部分暴露于该带电粒子束以产生该第一图像包括采用慢扫描技术；以及

所述将该样品的该第二部分暴露于该带电粒子束以产生该第二图像包括采用慢扫描技术。

3.根据权利要求1所述的方法，其中该第二图像包括比该第一图像更少的像素数。

4.根据权利要求1所述的方法，其中该样品的该第二部分包括比该样品的该第一部分更小的面积。

5.根据权利要求1所述的方法，其中该关于方向的输入包括移动方向的表示和移动速度的表示。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括：

基于所述移动速度的表示，确定该样品的暴露于该粒子束的该第二部分的尺寸；以及

基于所述移动方向，确定该样品的暴露于该粒子束的该第二部分的位置。

7.根据权利要求1所述的方法，其中结合该第一图像和该第二图像的至少一部分以产生第三图像包括：结合比整个的第一图像小的子区域和该第二图像的至少一部分。

8.根据权利要求1所述的方法，其中接收该关于方向的输入包括：

在用户界面上显示该第一图像；

响应用户输入，在该用户界面上移动该第一图像。

9.根据权利要求1所述的方法，其中在该用户界面上移动该第一图像包括移动该第一图像，而不移动该样品。

10.根据权利要求1所述的方法，其中暴露在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分包括：

暴露该第二部分以产生低分辨率图像；以及

随后暴露该第二部分以产生高分辨率图像。

11.根据权利要求1所述的方法，其中如果该第二部分已经在先前被暴露，则该方法还包括确定该第二部分的取回图像的分辨率。

12.根据权利要求11所述的方法，其中结合该第一图像的至少一部分与该第二部分的取回图像以产生第三图像包括集聚从该第二部分的取回图像的图像数据以匹配该第一图像的分辨率。

13.根据权利要求11所述的方法，其中结合该第一图像的至少一部分与该第二部分的取回图像以产生第三图像包括内插从该第二部分的取回图像的图像数据以匹配该第一图像的分辨率。

14.一种方法，包括：

将样品暴露于带电粒子束以产生该样品的第一部分的第一图像；

将在多个方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的多个部分暴露于带电粒子束以产生一组相邻图像；

在控制系统接收关于方向的输入；

结合该第一图像的至少一部分和该相邻图像的一个或者更多个图像的至少一部分以产生第三图像；以及

在用户界面上显示该第三图像。

15.一种方法，包括：

在与粒子束系统有关的用户界面上显示样品的第一部分的第一图像，该第一图像包括通过将该样品的该第一部分暴露于带电粒子束而产生的图像；

在该用户界面上显示该样品的第二部分的第二图像，该样品的第二部分包括没有包含在该第一部分中的未重叠区域以及包含在该第一部分中的重叠区域；该第二图像包括通过将该样品的未重叠区域暴露于带电粒子束、但没有将该重叠区域暴露于带电粒子束而产生的图像。