[发明专利]扫描方法

说明书

技术领域

本公开涉及用于样品成像的扫描方法，例如使用带电粒子的样品成像。

背景技术

样品可暴露于带电粒子以用于多种应用，包括样品成像。在一些实施例中，样品的成像包括视场的光栅扫描(raster scanning)，以获得视场中包含的样品部分的图像。当用户需要观看样品的不同部分时，系统修改视场并且进行新视场中包含的新区的光栅扫描。

发明内容

本发明公开了用于扫描样品并且获得样品表面图像的方法。该方法涉及获得并结合样品的慢扫描图像，并且将图像提供给用户。在一些实施例中，用户可摇摄和缩放存储的图像以观看样品的不同部分(例如，对比于移动镜台和获得关注区域的新图像)。当用户在存储图像内摇摄和缩放时，存储的图像在用户界面上移动，好像镜台和样品正在移动。

在一些方面中，系统预先地获得和存储样品的用户目前观看的图像中区域图像之外区域的图像。如果用户期望观看获得图像的样品部分，系统可随后取回和提供这些获得的图像给用户。为了将新获取图像提供给用户，系统将新获取图像和先前图像结合。

在一些方面中，扫描样品的方法和系统可包括识别用户的移动先前存储的图像的意图(例如，基于用户输入)，并且经由慢扫描来扫描在识别的方向上与存储图像的边缘相邻的样品的部分(例如带)。新获取的图像与先前获取的图像结合。

在一些方面中，一种方法包括将样品的第一部分暴露于带电粒子束，以产生该样品的该第一部分的第一图像；以及在控制系统接收关于方向的输入。该方法还包括确定在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分是否已经先前被暴露以产生该第二部分的图像。该方法还包括：如果该第二部分已经在先前被暴露，则从存储器取回该第二部分的图像；以及如果该第二部分没有在先前被暴露，则将在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分暴露于带电粒子束以产生第二图像。该方法还包括将该第一图像的至少一部分与该第二图像或者该第二部分的取回图像结合以产生第三图像；以及在用户界面上显示该第三图像。

实施例可包括以下的一个或更多个。将该样品的该第一部分暴露于该带电粒子束以产生该第一图像包括采用慢扫描技术；以及将该样品的该第二部分暴露于该带电粒子束以产生该第二图像包括采用慢扫描技术。该第二图像包括比该第一图像更少的像素数。该样品的该第二部分包括比该样品的该第一部分更小的面积。关于方向的输入可包括移动方向的表示和移动速度的表示。

该方法还可以包括基于移动速度的表示，确定该样品的暴露于该粒子束的该第二部分的尺寸；以及基于移动方向，确定该样品的暴露于该粒子束的该第二部分的位置。结合该第一图像和该第二图像的至少一部分以产生第三图像可包括：结合比整个的第一图像小的子区域和该第二图像的至少一部分。接收该关于方向的输入可包括：在用户界面上显示该第一图像；以及响应用户输入，在该用户界面上移动该第一图像。在该用户界面上移动该第一图像可包括移动该第一图像，而不移动该样品。暴露在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分可包括：暴露该第二部分以产生低分辨率图像；以及随后暴露该第二部分以产生高分辨率图像。

该方法还可包括：如果该第二部分已经在先前暴露，则确定该第二部分的取回图像的分辨率。结合该第一图像的至少一部分与该第二部分的取回图像以产生第三图像包括：集聚从该第二部分的取回图像的图像数据以匹配该第一图像的分辨率。结合该第一图像的至少一部分与该第二部分的取回图像以产生第三图像可包括：内插从该第二部分的取回图像的图像数据以匹配该第一图像的分辨率。

在一些方面中，一种方法包括：将样品暴露于带电粒子束以产生该样品的第一部分的第一图像；以及将在多个方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的多个部分暴露于带电粒子束以产生一组相邻图像。该方法还包括：在控制系统接收关于方向的输入；结合该第一图像的至少一部分和该相邻图像的一个或者更多个图像的至少一部分以产生第三图像；以及在用户界面上显示该第三图像。

在一些方面中，一种方法包括：在与离子显微镜有关的用户界面上显示样品的第一部分的第一图像，该第一图像包括通过将该样品的该第一部分暴露于带电粒子束而产生的图像。该方法还包括在该用户界面上显示该样品的第二部分的第二图像，该样品的第二部分包括没有包含在该第一部分中的未重叠区域以及包含在该第一部分中的重叠区域；该第二图像包括通过将该样品的未重叠区域暴露于带电粒子束、但没有将该重叠区域暴露于带电粒子束而产生的图像。