[发明专利]晶片透镜制造方法、晶片透镜叠层体制造方法及制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及晶片透镜的制造方法、晶片透镜聚合体的制造方法、晶片透镜叠层体的制造方法，以及晶片透镜制造装置、晶片透镜聚合体制造装置、晶片透镜叠层体制造装置。

背景技术

在光学透镜制造领域中，有探讨在玻璃基板上设由固化性树脂构成的透镜部由此得到高耐热性光学透镜的技术(请参照例如专利文献1)。作为应用了该技术的光学透镜的制造方法一例，有一种方法被提案，其中是在玻璃基板表面设多个由固化性树脂构成的透镜部形成所谓的“晶片透镜”，然后按各个透镜部切割玻璃基板。

简单说明一下使用光固化性树脂作为固化性树脂时晶片透镜的制造方法一例：先固定玻璃基板，在该玻璃基板上滴下或吐出树脂(配给工序)。然后，使玻璃基板朝着配置在上方的成型模具上升，将树脂压入成型模具(转印工序)。成型模具是光透过性模具，具有透镜成型面，由印模支架支承固定。

然后就此保持玻璃基板的高度位置，同时从成型模具上方对充填在成型模具腔中的树脂照光，使树脂光固化(曝光工序)。然后边使玻璃基板下降，边从成型模具脱模树脂(脱模工序)。由此能够制造在玻璃基板上形成了多个透镜部的晶片透镜。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：特许第3926380号公报

发明内容

发明欲解决的问题

但是在玻璃基板上形成透镜部时，为了在玻璃基板的所定位置上精度良好地形成透镜部，成型模具相对玻璃基板的位置对准很重要。另外存在在形成透镜部的制造过程中如果有气泡混入光固化性树脂的话就得不到良好的光学特性之问题。对此，考虑用“静电夹盘”固定玻璃基板，并且在减压下进行上述从配给工序到曝光工序的各种处理，尤其是在减压下进行转印工序，由此形成透镜部位置精度良好对准、防止气泡混入、具有良好光学特性的透镜部。

但是现在知道，采用上述静电夹盘固定玻璃基板时，玻璃基板的支承力不充分，尤其是在校直(位置对准)用来在玻璃基板的所定位置上形成透镜部的成型模具时，成型模具与玻璃基板之间产生位置偏离，对于形成像摄像透镜等特别要求位置精度的透镜来说存在不足。这种情况在粘结晶片透镜和隔件(叠层多个晶片透镜时用来与其他晶片透镜之间保持一定间隔的部件)时，还有晶片透镜和隔件粘结成的晶片透镜聚合体相互之间粘结时也有可能发生。

对此考虑吸引固定。该固定时已经知道上述透镜固定和校直时的支承力是足够的，但此时出现新的问题。

正如上所述，为了防止气泡混入透镜形成时优选在减压气压下进行，但这种状况下特意采用的吸引固定的吸引力下降变得不充分，出现问题。

本发明的目的在于，能够抑制玻璃基板与成型模具之间发生位置偏离，并且抑制晶片透镜与隔件之间的位置偏离、晶片透镜聚合体相互之间的位置偏离。

用来解决问题的手段

根据本发明的一形态，提供一种晶片透镜的制造方法，是对玻璃基板形成能量固化性树脂透镜部，晶片透镜制造方法的特征在于，备有下述各工序：

在第一减压气压下，在所述玻璃基板与成型模具之间配置所述能量固化性树脂，在吸着所述玻璃基板和所述成型模具中的至少一方的同时，将所述玻璃基板和所述成型模具中的一方推压到另一方(之工序)；

通过所述推压工序，在被推压的所述成型模具或所述玻璃基板的一方接触所述能量固化性树脂的状态下，变更到比所述第一减压气压高压的第二压力气压下，在吸着所述玻璃基板和所述成型模具中的一方的同时，进行所述玻璃基板与所述成型模具的校直(之工序)；

给予所述能量固化性树脂能量，使所述能量固化性树脂固化(之工序)。

根据本发明的其他形态，提供一种晶片透镜聚合体的制造方法，是用能量固化性树脂粘结剂，粘结对玻璃基板形成了能量固化性树脂透镜部的晶片透镜和与其他晶片保持一定距离的隔件，晶片透镜聚合体制造方法的特征在于，备有下述各工序；

在第一减压气压下，在所述晶片透镜与所述隔件之间配置所述粘结剂，在吸着所述晶片透镜和所述隔件中的至少一方的同时，将所述晶片透镜和所述隔件中的一方推压到另一方(之工序)；

通过所述推压工序，在所述晶片透镜以及隔件接触所述粘结剂的状态下，变更到比所述第一减压气压高压的第二压力气压下，在吸着所述晶片透镜和所述隔件中的至少一方的同时，进行所述晶片透镜与所述隔件的校直(之工序)；

给予所述粘结剂能量，使所述粘结剂固化(之工序)。