[发明专利]成像光学部件以及具有此类型的成像光学部件的用于微光刻的投射曝光设备

说明书

技术领域

本发明涉及根据权利要求1和2的前序部分的成像光学部件。本发明还涉及具有此类型的成像光学部件的投射曝光设备、利用此类型的投射曝光设备制造结构化组件的方法、以及通过此方法制造的微结构化(microstructured)或纳米结构化(nanostructured)的组件。

背景技术

US 7,414,781、US7,348,565B2和WO 2006/119977A1中公开了开始所提类型的成像光学部件。

发明内容

本发明的目的在于开发开始所提类型的成像光学部件，从而获得小成像误差、可管理的制造、以及成像光的良好通过量(throughput)的可操纵组合。

根据本发明的第一方面，通过具有权利要求1中公开的特征的成像光学部件实现此目的。

因为根据本发明将第一个反射镜移动到比倒数第四个反射镜更接近像平面，所以可以实施以下设计：尤其在第一个反射镜上，对于成像光可以仅实施小的入射角。此外，该第一个反射镜可以被配置为具有有利的大反射表面。将第一个反射镜制造为具有成像光的有利低强度负载，而另一方面，由于即使是非常小波长(尤其是EUV波长)的成像光也可能有小的入射角，例如由于相应的反射镜涂层，所以可以获得高反射度。最后，根据本发明的设计还使得第一个反射镜具有例如其面积不实质性大于成像光学部件的最后一个反射镜的反射镜表面的反射表面，其一般地预先确定像侧上的数值孔径，并继而产生制造上的优势。总之，关于第一个反射镜的反射表面，根据本发明的设计是有利的折衷方案，其中，同时在此反射镜上实施小的入射角。如果成像光学部件具有带有平坦折叠式反射镜(flat folding mirror)的折叠光束路径，则首先展开此成像光束路径，以确定镜间距。因此，总是观察成像光学部件的展开成像光束路径，以预先确定根据本发明的与像平面的镜间距。成像光学部件的光瞳一般是指限制成像光束路径的孔径光阑的所有像。这些像所位于的平面称为光瞳平面。因为孔径光阑的像不一定是精确的平面，近似与这些像一致的平面一般也称为光瞳平面。孔径光阑本身的平面也称为光瞳平面。如果孔径光阑不是平面，则与孔径光阑的像一样，最与孔径光阑一致的平面称为光瞳平面。

成像光学部件的入瞳是指当孔径光阑由成像光学部件位于物平面与孔径光阑之间的部分成像时所产生的孔径光阑的像。相应地，出瞳则是当孔径光阑由成像光学部件位于像平面与孔径光阑之间的部分成像时所产生的孔径光阑的像。

如果入瞳是孔径光阑的虚像，即入瞳平面位于物场之前，则意味着入瞳的负后聚焦(negative back focus)。在此情况中，所有物场点的主光线或主要光束如同它们来自成像光束路径之前的一个点而延伸。每个物体点的主光线被定义为该物体点与入瞳中心点之间的连接光束。在入瞳的负后聚焦的情况下，所有物体点的主光线因此在物场上具有发散的光束路线。

光瞳的替代定义是成像光学部件的成像光束路径中从物场点发出的单独光束相交的区域，所述单独光束相对于从物场点发出的主光线分别与相同的照明角度关联。根据该替代光瞳定义，单独光束的相交点所位于的平面或最接近这些相交点的空间分布(其不一定精确地位于平面中)的平面可被称为光瞳平面。

根据本发明的第二方面，通过具有权利要求2中所公开的特征的成像光学部件来获得开头所提及的目的。