[发明专利]板状体的研磨方法有效
申请号: | 201080024409.7 | 申请日: | 2010-06-01 |
公开(公告)号: | CN102458766A | 公开(公告)日: | 2012-05-16 |
发明(设计)人: | 河内辰朗;城山厚 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | B24B47/12 | 分类号: | B24B47/12;B24B7/24;B24B29/00;B24B47/16 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 高培培;车文 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 板状体 研磨 方法 | ||
1.一种板状体的研磨方法,一边使板状体沿着规定方向移动,一边利用进行自转的研磨工具对板状体进行研磨,其特征在于,
使所述研磨工具的自转方向在规定时间反转。
2.根据权利要求1所述的板状体的研磨方法,其中,
使所述研磨工具的旋转方向以规定周期反复进行反转。
3.根据权利要求1所述的板状体的研磨方法,其中,
预先规定与用于使所述研磨工具旋转的电动机的负载电流值相关的下限值,对研磨时的负载电流的变化进行监视,并在该负载电流值达到下限值时使所述研磨工具的自转方向反转。
4.根据权利要求1或2所述的板状体的研磨方法,其中,
所述研磨工具以规定的公转中心为中心进行公转,并且公转方向与自转方向的反转同时地进行反转。
5.根据权利要求1~3中任一项所述的板状体的研磨方法,其中,
所述研磨工具沿着板状体的移动方向配置有多台。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的板状体的研磨方法,其中,
具备将所述研磨工具按压于修整构件上并使所述研磨工具及所述修整构件相对旋转以对所述研磨工具进行修整的修整工序,
在所述修整工序之后对所述板状体进行研磨时的所述研磨工具的自转方向被设定成与所述修整工序时的旋转方向相反的方向。
7.根据权利要求6所述的板状体的研磨方法,其中,
所述修整工序时的所述修整构件与所述研磨工具的相对旋转方向被设定成与修整工序之前的所述研磨工具的自转方向相同的方向。
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