[发明专利]含羟基自由基水供给方法和含羟基自由基水供给装置无效
| 申请号： | 201080024514.0 | 申请日： | 2010-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN102459092A | 公开（公告）日： | 2012-05-16 |
| 发明（设计）人： | 田中忠玄;盐见元信;上野晃裕 | 申请（专利权）人： | 仓敷纺织株式会社 |
| 主分类号： | C02F1/72 | 分类号： | C02F1/72;C02F1/78;C11D7/18;C11D7/26;C11D17/08;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 陈万青;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 羟基 自由基 供给 方法 装置 | ||
1.一种含羟基自由基水供给方法，其特征在于，包括：
生成工序，将臭氧、过氧化氢以及选自由水溶性有机物、无机酸、所述无机酸的盐和肼构成的组中的至少一种以上的添加物质溶解于纯水而生成含羟基自由基水；
移送工序，将生成的含羟基自由基水移送至使用点；和
供给工序，在使用点供给移送后的含羟基自由基水。
2.根据权利要求1所述的含羟基自由基水供给方法，其特征在于，所述生成工序是使臭氧、过氧化氢和添加物质的重量比为臭氧∶过氧化氢∶添加物质＝10～40∶10～40∶1～4来进行溶解而生成含羟基自由基水的工序。
3.根据权利要求1或2所述的含羟基自由基水供给方法，其特征在于，使添加物质以1～100ppm溶解。
4.根据权利要求1至3中任意一项所述的含羟基自由基水供给方法，其特征在于，
添加物质为水溶性有机物，
水溶性有机物的臭氧反应速度常数为10L/mol/sec以下。
5.根据权利要求4所述的含羟基自由基水供给方法，其特征在于，水溶性有机物为异丙醇。
6.根据权利要求1至3中任意一项所述的含羟基自由基水供给方法，其特征在于，添加物质为作为无机酸的碳酸。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的含羟基自由基水供给方法，其特征在于，纯水是电阻率为17MΩ·cm以上的超纯水。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的含羟基自由基水供给方法，其特征在于，所述供给工序为将含羟基自由基水作为电子部件的洗净液或该电子部件的制造工序中的洗净液进行供给的工序。
9.一种含羟基自由基水供给装置，其特征在于，具备：
生成单元，将臭氧、过氧化氢以及选自由水溶性有机物、无机酸、所述无机酸的盐和肼构成的组中的至少一种以上的添加物质溶解于纯水而生成含羟基自由基水；
移送单元，将生成的含羟基自由基水移送至使用点；和
供给单元，在使用点供给移送后的含羟基自由基水。
10.根据权利要求9所述的含羟基自由基水供给装置，其特征在于，所述生成单元使臭氧、过氧化氢和添加物质的重量比为臭氧∶过氧化氢∶添加物质＝10～40∶10～40∶1～4来进行溶解。
11.根据权利要求9或10所述的含羟基自由基水供给装置，其特征在于，所述生成单元使添加物质以1～100ppm溶解。
12.根据权利要求9至11中任意一项所述的含羟基自由基水供给装置，其特征在于，
添加物质为水溶性有机物，
水溶性有机物的臭氧反应速度常数为10L/mol/sec以下。
13.根据权利要求12所述的含羟基自由基水供给装置，其特征在于，水溶性有机物为异丙醇。
14.根据权利要求9至11中任意一项所述的含羟基自由基水供给装置，其特征在于，添加物质为作为无机酸的碳酸。
15.根据权利要求9至14中任意一项所述的含羟基自由基水供给装置，其特征在于，纯水是电阻率为17MΩ·cm以上的超纯水。
16.根据权利要求9至15中任意一项所述的含羟基自由基水供给装置，其特征在于，所述供给单元供给含羟基自由基水作为电子部件的洗净液或该电子部件的制造工序中的洗净液。
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