[发明专利]III族金属氮化物单晶的培养方法以及用于该方法的反应容器

权利要求书

1.一种培养III族金属氮化物单晶的方法，包括将III族金属氮化物单晶的原料以及助熔剂原料收容于坩埚内，再将该坩埚收容于反应容器内，将该反应容器收容于外侧容器内，再将该外侧容器收容于耐压容器内，向所述外侧容器内供给含氮氛围的同时，使所述坩埚内生成熔液，其特征在于，

所述反应容器具备收容所述坩埚的本体和放置于该本体上的盖，所述本体具备侧壁和底壁，该侧壁具有啮合面，且具有在啮合面上有开口的槽，所述盖具备相对所述啮合面有接触面的上板部，以及从上板部延伸出来，包围所述侧壁的外侧的凸缘部。

2.根据权利要求1记载的方法，其特征在于，所述侧壁上设置有多个所述槽。

3.根据权利要求1或2记载的方法，其特征在于，所述侧壁和所述凸缘部的间隔为0.5～2.0mm。

4.根据权利要求1～3的任一项所记载的方法，其特征在于，所述外侧容器具备收容所述反应容器的本体和放置于该本体上的盖，所述本体具备侧壁和底壁，该侧壁具有啮合面，且具有在啮合面上有开口的槽，所述盖具备相对所述啮合面有接触面的上板部，以及从上板部延伸出来，包围所述侧壁的外侧的凸缘部。

5.根据权利要求1～4的任一项所记载的方法，其特征在于，培养所述III族金属氮化物单晶时，所述外侧容器的所述盖和所述本体通过扎带捆绑在一起。

6.一种反应容器，其用于通过将III族金属氮化物单晶的原料以及助熔剂原料收容于坩埚内，再将该坩埚收容于反应容器内，将该反应容器收容于外侧容器内，再将该外侧容器收容于耐压容器内，向所述外侧容器内供给含氮氛围的同时，使所述坩埚内生成熔液来培养所述III族金属氮化物单晶的过程中，其特征在于，

具备收容所述坩埚的本体和放置于该本体上的盖，所述本体具备侧壁和底壁，该侧壁具有啮合面，且具有在啮合面上有开口的槽，所述盖具备相对所述啮合面有接触面的上板部，以及从上板部延伸出来，包围所述侧壁的外侧的凸缘部。

7.根据权利要求6记载的反应容器，其特征在于，所述侧壁上设置有多个所述槽。

8.根据权利要求6或7所记载的反应容器，其特征在于，所述侧壁和所述凸缘部的间隔为0.5～2.0mm。