[发明专利]液体材料的涂布方法、其装置及其程序

权利要求书

1.一种液体材料的填充方法，对基板与在其上所载置的工件的间隙中，利用毛细管现象填充从吐出装置所吐出的液体材料，所述液体材料的填充方法的特征在于包括：

制成由连续的多个涂布区域所构成的涂布图案的工序；

对各涂布区域，将以既定比率组合吐出脉冲数与暂停脉冲数的吐出周期进行多个分配的吐出周期分配工序；以及

在预设的修正周期，计测在修正周期时点从吐出装置的吐出量，并计算吐出量的修正量的修正量计算工序；

此外，还包括吐出量修正工序，该吐出量修正工序是由下述工序构成：

根据以所述修正量计算工序所计算出的修正量，调整所述涂布图案中所含有的吐出脉冲与暂停脉冲数的工序；和/或针对至少所述一涂布区域以及与该涂布区域连续的其它一或二涂布区域的长度，在不改变各涂布区域中每单位时间的吐出量的情况下，进行调整的工序。

2.根据权利要求1所述的液体材料的填充方法，其特征在于，在所述吐出周期分配工序中，所述吐出周期包括有所述多涂布区域所分配到的一吐出周期。

3.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于，在所述修正量计算工序中，根据一定时间所吐出的液体材料的重量的计测值、与该一定时间的理论值之间的差值，计算出吐出量的修正量。

4.根据权利要求1或2所述的液体材料的填充方法，其特征在于，在所述修正量计算工序中，根据下述计算出吐出量的修正量：一定时间所吐出的液体材料的重量的计测值；该一定时间的理论值；各涂布区域的长度；以及将任意一涂布区域的吐出量设为基准量时，相对于连续的其它一或二涂布区域的基准量的吐出量的比例。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的液体材料的填充方法，其特征在于，在所述吐出量修正工序中，在不改变发送所述吐出脉冲与所述暂停脉冲的频率的情况下，执行吐出量的修正。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的液体材料的填充方法，其特征在于，在所述修正量计算工序以前的工序中，设定用以判断是否执行修正的容许范围，当超越容许范围时便执行修正。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的液体材料的填充方法，其特征在于，所述修正周期根据使用者当作修正周期而输入的时间信息、工件片数、或基板片数来设定。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的液体材料的填充方法，其特征在于，在所述吐出量修正工序中，在不改变吐出装置与工件的相对移动速度、以及涂布图案全长的情况下，执行吐出量的修正。

9.一种装置，其特征在于是涂布装置，所述涂布装置具备有：供应液体材料的液材供应部；具有用以吐出液体材料的吐出口的吐出装置；计量从吐出口所吐出的液体材料的量的计量部；使吐出口与工件进行相对移动的驱动部；以及控制这些动作的控制部；在所述装置中，所述控制部使权利要求1至8中任一项所述的填充方法得以实施。

10.一种程序，其特征在于使涂布装置中的控制部实施权利要求1至8中任一项所述的填充方法，其中所述涂布装置具备有：供应液体材料的液材供应部；具有用以吐出液体材料的吐出口的吐出装置；计量从吐出口所吐出的液体材料的量的计量部；使吐出口与工件进行相对移动的驱动部；以及控制这些动作的控制部。