[发明专利]制造薄膜层叠片的方法

权利要求书

1.一种用于制造薄膜层叠片的装置，其特征在于，

在使卷绕成辊状的条状柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送所述条状柔性基板，

在所述条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，

所述条状柔性基板传送到所述沉积室，通过设置在所述沉积室中的沉积设备在所述条状柔性基板上形成薄膜，并且薄膜层叠片被卷绕成辊状，

在用于将所述薄膜层叠片卷绕成辊状的卷绕设备的前面设置调节辊，以防止在卷绕时所述条状柔性基板在夹持辊和所述卷绕设备之间出现松动，并且抑制因所述卷绕辊的直径增大而导致包围角产生变化以及所述条状柔性基板的传送轨迹受到影响，以及

一对夹持辊排列在所述调节辊的前面以在维持给定高度的同时夹住所述薄膜层叠片的上端来传送所述薄膜层叠片。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，

检测设备被设置成检测所述薄膜层叠片相对于所述调节辊的进入角，并且在所述检测设备的检测数据的基础上控制所述夹持辊的倾斜角和压缩力的至少之一。

3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，

其位置在所述条状柔性基板的宽度方向上可移动的LPC辊用于所述卷绕辊。

4.一种用于制造薄膜层叠片的装置，其特征在于，

在上下方向上传送卷绕成辊状的条状柔性基板，

在所述条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，或者基板处理部分被设置成用作在所述条状柔性基板上形成图案的处理室，

所述条状柔性基板被传送到所述基板处理部分，设置上下传送系统，在所述上下传送系统中，通过设置在所述沉积室中的沉积设备形成薄膜或通过设置在所述处理室中的图案形成设备在所述条状柔性基板上形成图案的上下传送系统，并且薄膜层叠片卷绕成辊状以使所述条状柔性基板的宽度方向呈横向姿态或纵向姿态，

在用于将所述薄膜层叠片卷绕成辊状的卷绕设备的前面设置调节辊，以防止在卷绕时所述条状柔性基板在夹持辊和所述卷绕设备之间出现松动，并且抑制因所述卷绕辊的直径增大而导致包围角产生变化以及所述条状柔性基板的传送轨迹受到影响，以及

一对夹持辊排列在所述调节辊的前面以以在所述宽度方向上夹住所述薄膜层叠片的至少一端的方式传送所述薄膜层叠片。

5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，

检测设备被设置成检测所述薄膜层叠片相对于所述调节辊的进入角，并且在所述检测设备的检测数据的基础上控制所述夹持辊的倾斜角和压缩力的至少之一。

6.如权利要求5所述的装置，其特征在于，

其位置在所述条状柔性基板的宽度方向上可移动的LPC辊用于所述卷绕辊。