[发明专利]制造薄膜层叠片的方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于制造薄膜层叠片的装置，其中在使柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送膜式柔性基板，并且在真空室内的气氛中生成通过高频电源的等离子体放电以形成薄膜，并且该装置具有抑制局部褶皱(诸如，拉伸褶皱或压缩褶皱)、且在传送薄膜层叠片时松动的机构，以及在卷绕薄膜层叠片时抑制卷绕未对准的机构。

背景技术

作为具有半导片薄膜等的薄膜层叠片的基板，通常使用具有高刚性的基板。同时，从轻量、方便(诸如，易于处理)、以及通过批量生产来降低成本的角度，使用柔性基板(诸如，树脂)作为用于例如太阳能电池等的光电转换元件的基板。

作为一种用于使用柔性基板来制造薄膜层叠片的装置，已开发了沉积设备，其中条状柔性基板穿过串联排列的多个沉积室，在每个沉积室中停止的柔性基板上形成膜，重复执行操作以将柔性基板传送到下一沉积室的位置，并且具有多个不同特性的薄膜层叠在柔性基板上。

在该沉积设备中，可在于水平方向上维持条状柔性基板的宽度方向的状态中在水平方向上传送柔性基板，并且可实现膜形成。替代地，可在于垂直方向上维持条状柔性基板的宽度方向的状态中在水平方向上传送柔性基板，并且可实现膜形成。在后一情况下，与前一情况相比，优点在于，柔性基板的表面不容易受污染。然而，如果沉积室的数量增加，则由于柔性基板的重力或重量所引起的拉伸，褶皱在柔性基板的表面中出现，并且柔性基板在宽度方向上弯曲或向下下垂。

为了解决这些问题，已提出了一种技术，其中中间室排列在多个处理室之中的两个中央沉积室之间，并且边缘位置控制(EPC)辊设置在中间室中以在宽度方向上跨柔性基板的整个表面与柔性基板的表面接触。在日本专利申请特开No.2009-46285(专利文献1)中描述了EPC辊。

然而，由于通常在相对较高的温度下实现膜形成，因此如果由不锈钢制成的EPC辊排列在沉积室之间，则快速地冷却柔性基板，从而引起褶皱等。

为了防止卷绕辊的卷绕未对准，优选使用EPC辊，但是在EPC辊中，施加到柔性基板的张力的平衡被破坏，从而弯曲褶皱容易出现。通常，EPC辊比传送辊贵。

因此，已开发了一种沉积设备，其中多组夹持辊设置在多个沉积室之间以在垂直方向上夹住条状柔性基板的上端，并且多组夹持辊被设置成每个辊的旋转方向相对于条状柔性基板的传送方向向上倾斜(参见专利文献2)。

如上所述，至少一组夹持辊排列在多个沉积室之间以在垂直方向上夹住条状柔性基板的上端，并且在上端的多组夹持辊在垂直方向上被设置成每个辊的旋转方向相对于条状柔性基板的传送方向向上倾斜。由此，当在水平方向上传送条状柔性基板时，生成向上提升柔性基板的力。因此，即使当在多个沉积室之间长距离地传送条状柔性基板时，有可能防止柔性基板中的褶皱的出现，柔性基板在宽度方向上的弯曲，并且柔性基板向下的下垂。还有可能高精度地维持条状柔性基板在垂直方向上的位置。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本专利申请特开No.2009-46285

专利文献2：日本专利申请特开No.2009-38276

发明的公开内容

本发明要解决的问题

最终，当其上形成有薄膜的条状柔性基板(即，薄膜层叠片)被卷绕辊卷绕时，由于卷绕辊具有很高的接合力，因此为了控制具有夹持辊的条状柔性基板的高度，需要在卷绕辊和夹持辊之间存在一距离。然而，如果存在一距离，则在条状柔性基板(即，薄膜层叠片)中出现松动。如果薄膜层叠片的位置降低，则在薄膜层叠片卷绕卷绕辊时出现未对准，从而未实现均匀的卷绕。

本发明的目的在于，提供一种用于制造薄膜层叠片的装置，该装置能够防止在传送时条状柔性基板松动或在卷绕时条状柔性基板相对于卷绕辊未对准。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，本发明提供了一种用于制造薄膜层叠片的装置中，其中在使卷绕成辊状的条状柔性基板的宽度方向呈纵向姿态的状态下在横向方向上传送条状柔性基板，在条状柔性基板的传送方向上设置沉积室，条状柔性基板传送到沉积室，通过设置在沉积室中的沉积设备在条状柔性基板上形成薄膜，并且薄膜层叠片被卷绕成辊状，在用于将薄膜层叠片卷绕成辊状的卷绕设备的前面设置调节辊，以防止在卷绕时条状柔性基板在夹持辊和卷绕设备之间出现松动，并且抑制因卷绕辊的直径增大而导致包围角产生变化以及条状柔性基板的传送轨迹受到影响，以及一对夹持辊排列在调节辊的前面以在维持给定高度的同时夹住薄膜层叠片的上端来传送薄膜层叠片。