[发明专利]带电粒子束装置以及图像显示方法

权利要求书

1.一种带电粒子束装置，具有：带电粒子源、使从所述带电粒子源放出的一次带电粒子束进行聚焦的物镜、在试样上扫描所述一次带电粒子束的扫描偏转器、检测通过所述一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，所述带电粒子束装置使用所述检测器的信号粒子取得试样图像，其特征在于，

具备：

使所述一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器；

使电流流过该偏转器的独立的第一以及第二电源；以及

以所述一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换该两个电源的开关。

2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

使用用施加所述第一电源时的信号粒子所取得的第一试样图像、和用施加所述第二电源时的信号粒子所取得的第二试样图像，能够观察从倾斜方向看所述试样所得的立体图像。

3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

存储针对所述一次电子束的每个倾斜方向规定流过所述偏转器的电流值的表。

4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

相比所述偏转器在靠近带电粒子源侧，具备补偿一次带电粒子的像散的像散补偿器。

5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述带电粒子束装置在所述偏转器的带电粒子源侧具备聚焦透镜，

通过该聚焦透镜抵消所述物镜中发生的离轴像差。

6.一种带电粒子束装置，具有：带电粒子源、使从所述带电粒子源放出的一次带电粒子束进行聚焦的物镜、在试样上扫描所述一次带电粒子束的扫描偏转器、检测通过所述一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，所述带电粒子束装置使用所述检测器的信号粒子取得试样图像，其特征在于，

具备：

使所述一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器；以及

对该偏转器施加不同的两个电压，取得第一图像以及第二图像并显示该第一图像以及第二图像的显示装置，

切换在该显示装置上显示的第一图像以及第二图像的在所述显示装置上的配置。

7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，

所述带电粒子束装置根据交叉法、立体法、视差图像法来切换第一图像以及第二图像的配置。

8.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于，

使用所述第一图像和第二图像在立体显示器上形成立体图像。