[发明专利]带电粒子束装置以及图像显示方法

说明书

技术领域

本发明涉及带电粒子束装置及其图像显示方法，特别涉及具备成对立体图像观察功能的带电粒子束装置中的三维图像的构建方法。

背景技术

在扫描电子显微镜所代表的带电粒子束装置中，在要取得三维图像的情况下，使用从不同角度的方向取得的两枚图像、即左眼用的图像和右眼用的图像，交替地显示两个图像(专利文献1)或者使用交叉法、平行法、或使用红蓝眼镜的视差图像法进行立体观察。

另外，近年来，开发出使带电粒子束相对于试样倾斜来得到试样的倾斜图像的方式(专利文献2)、或用于三维图像显示方法的立体液晶显示器，可应用于立体观察的技术在各个技术领域中得到发展。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本实开昭55-48610号公报

专利文献1：日本特开平2-33843号公报

发明内容

发明要解决的课题

上述公开的现有技术，以从光轴中心起左右均等的角度(例如±3°)，根据仅一个轴方向(例如X方向)的视差图像构建了立体图像，因此，仅可以得到从正上方观察试样而得的立体图像。

考虑到通过试样载台的倾斜或旋转，能够得到从其它方向(例如倾斜方向)看到的立体图像，但是，有可能发生试样载台的机构上的设定时间或观察位置的偏移，操作变得复杂。

另外，在立体观察方法中分别具有以下特征，无法一概地判断哪种观察方法优秀。

交叉法或平行法不需要专用的道具，能够以裸眼进行立体视图，但是不适合于通常操作，需要训练，不擅长于这些方法的操作者不在少数。

而且，视差图像法不需要训练就能够进行立体观察，但是始终需要红蓝眼镜，因此存在不适合于通常操作、彩色滤光片导致的亮度降低等问题。

而且，立体液晶显示器不需要训练就能够以裸眼进行立体观察，因此不容易成为通常操作的障碍，但是需要设置空间，价格高昂。

这样，各观察方法分别具有优缺点，操作者有的擅长、有的不擅长，因此，若能够自由地选择立体观察方法，则使用便利性会提高。

本发明的目的在于在带电粒子束装置中，提供不仅从上方，也从斜向取得左右的视差图像的取得单元。另外，目的在于提供可以切换立体观察方法的视差图像显示单元以及操作画面。

用于解决课题的手段

本发明提供一种带电粒子束装置，具有：带电粒子源、对从所述带电粒子源放出的一次带电粒子束进行聚焦的物镜、在试样上扫描所述一次带电粒子束的扫描偏转器、检测通过所述一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，所述带电粒子束装置使用所述检测器的信号粒子取得试样图像，其特征在于，具备：使所述一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器；使电流流过该偏转器的独立的第一以及第二电源；以及以所述一次带电粒子束的扫描的一行单位或一帧单位切换该两个电源的开关。

另外，本发明提供一种带电粒子束装置，具有：带电粒子源、对从所述带电粒子源放出的一次带电粒子束进行聚焦的物镜、在试样上扫描所述一次带电粒子束的扫描偏转器、检测通过所述一次带电粒子束的扫描而从试样发生的信号粒子的检测器，所述带电粒子束装置使用所述检测器的信号粒子取得试样图像，其特征在于，具备：使所述一次带电粒子束向试样的照射角偏转的偏转器；以及对该偏转器施加不同的两个电压，取得第一图像以及第二图像并显示该第一图像以及第二图像的显示装置，切换在该显示装置上显示的第一图像以及第二图像的在所述显示装置上的配置。

发明效果

通过以上结构，可以提供能够不仅从上方，还从斜向取得立体图像的带电粒子束装置。另外，可以提供能够切换立体观察方法的视差图像显示单元以及操作画面，用户仅通过鼠标操作就可以选择观察方向以及视差角、立体观察方法。

本发明的其他目的、特征以及优点，根据与附图相关的以下的本发明的实施例的记载而变得明了。

附图说明

图1是作为本发明的一例的扫描电子显微镜的概要图。

图2是带电粒子束中心不倾斜而使其对称地倾斜的单元。

图3是使带电粒子束中心倾斜来独立地取得视差图像的单元。

图4A是带电粒子束倾斜的说明图(x方向)。

图4B是带电粒子束倾斜的说明图(y方向)。

图4C是带电粒子束倾斜的说明图(倾角φ、旋转角θ、视差角ω)。

图5是控制表的一例。

图6是作为本发明的一例的带电粒子束装置的操作画面的结构例。