[发明专利]物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法，更详言之，是关于使沿既定二维平面配置的平板状物体移动的物体移动装置、对通过该物体移动装置移动的物体进行既定处理的物体处理装置、使通过该物体移动装置移动的物体曝光以形成既定图案的曝光装置、检查通过该物体移动装置移动的物体的物体检查装置、以及使用前述物体处理装置或曝光装置的元件制造方法。

背景技术

以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子元件(微型元件)的光刻工艺中，主要使用步进重复方式的投影曝光装置(所谓步进机)、或步进扫描方式的投影曝光装置(所谓扫描步进机(亦称扫描机))等。

在此种曝光装置中，作为曝光对象物而在表面涂布有感光剂的玻璃板或晶圆等基板(以下总称为基板)载置于基板载台装置上。之后，通过对形成有电路图案的掩膜(或标线片)照射曝光用光，且将经由该掩膜的曝光用光经由投影透镜等光学系统照射于基板，以将电路图案转印至基板上(参照例如专利文献1(及对应的专利文献2))。

近年来，曝光装置的曝光对象物即基板、特别是液晶显示元件用的基板(矩形玻璃基板)的尺寸例如为一边三公尺以上等，有大型化的倾向，于是，曝光装置的载台装置尺寸亦大型化，其重量亦增大。因此，被期望开发出一种载台装置，能将曝光对象物(基板)高速且高精度地导引，进而可谋求小型化、轻量化的简单构成。

[专利文献]

[专利文献1]PCT国际公开第2008/129762号

[专利文献2]美国发明专利申请公开第2010/0018950号

发明内容

根据本发明的第1态样，提供一种物体移动装置，使平板状物体移动，该平板状物体沿包含彼此正交的第1及第2轴的既定二维平面所配置，该物体移动装置具备：移动体，保持前述物体的端部并可沿前述二维平面移动；驱动装置，将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及非接触支承装置，在前述移动体被前述驱动装置驱动时，使支承面对向于前述物体的下面以从下方以非接触方式支承前述物体。

根据上述，平板状物体的端部被移动体保持，而移动体被驱动装置驱动，藉此沿既定二维平面移动。又，物体由于是从下方被非接触支承装置支承，因此即使通过移动体仅支承物体端部，亦可抑制因物体自身重量而往下方的变形(弯曲)。是以，能将物体沿既定二维平面以良好精度导引。又，非接触支承装置由于是以非接触方式支承物体，因此在物体沿既定二维平面移动时不产生摩擦阻力。因此，驱动装置能高速且以高精度驱动由移动体与物体构成的系统。又，能将移动体及驱动装置作成简单的构成，而能使物体移动装置整体小型化、轻量化。

根据本发明的第2态样，提供一种物体处理装置，其具备：本发明的物体移动装置；以及执行装置，为了进行与前述物体相关的既定处理，从与前述调整装置相反的侧对该物体中保持于前述调整装置的部分执行既定动作。

根据上述，由于对被本发明的物体移动装置沿既定二维平面导引的物体执行既定的动作，因此能对该物体高速且精度良好地进行既定处理。

根据本发明的第3态样，提供一种第1曝光装置，其具备：本发明的物体移动装置；以及使用能量束使前述物体曝光据以将既定图案形成于该物体上的图案形成装置。

根据上述，由于使用能量束对被本发明的物体移动装置沿既定二维平面导引的物体进行曝光，因此能高速且精度良好地在该物体形成既定图案。

根据本发明的第4态样，提供一种物体检查装置，其具有：本发明的物体移动装置；以及为了检查前述物体而拍摄该物体表面的摄影部。

根据上述，由于通过本发明的物体移动装置将检查对象的物体沿既定二维平面高速且精度良好地导引，因此能以良好效率进行该物体的检查。

根据本发明的第5态样，提供一种第2曝光装置，是使用能量束使物体曝光据以将既定图案形成于前述物体上，其具备：移动体，可保持沿包含彼此正交的第1及第2轴的既定二维平面所配置的平板状物体的端部并可沿前述二维平面移动；驱动装置，将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及非接触支承装置，在前述移动体被前述驱动装置驱动时，从下方以非接触方式支承前述物体。