[发明专利]分光模块及其制造方法有效
申请号: | 201080036948.2 | 申请日: | 2010-08-11 |
公开(公告)号: | CN102472663A | 公开(公告)日: | 2012-05-23 |
发明(设计)人: | 柴山胜己;能野隆文 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | G01J3/18 | 分类号: | G01J3/18;G01J3/36;G02B5/10;G02B5/18;H01L31/10 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分光 模块 及其 制造 方法 | ||
1.一种分光模块,其特征在于,
具备:
主体部,其使从一侧入射的光透射;
分光部,其设于在所述主体部的另一侧形成的凸状的曲面上,将入射于所述主体部的光分光且向所述主体部的一侧反射;及
光检测元件,其配置于所述主体部的一侧,检测由所述分光部分光后的光,
所述分光部具有以沿着所述曲面的方式形成的衍射层、以比所述衍射层厚的方式沿着所述衍射层的周缘一体形成的边缘部、及形成于所述衍射层的另一侧的反射层;
在所述衍射层上,以相对所述衍射层的中心偏向于规定侧的方式形成有衍射光栅图案。
2.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述反射层形成为圆形状。
3.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述反射层以包含于形成有所述衍射光栅图案的区域内的方式而形成。
4.如权利要求3所述的分光模块,其特征在于,
在所述衍射层的另一侧,以包含且覆盖所述反射层的方式形成有保护层。
5.如权利要求1所述的分光模块,其特征在于,
所述衍射光栅图案到达所述规定侧的所述边缘部上。
6.一种分光模块的制造方法,其特征在于,
是权利要求1所述的分光模块的制造方法,
包括:
在形成于所述主体部的另一侧的凸状曲面上,载置树脂材料的工序;
将模具按压于所述树脂材料且使所述树脂材料固化,由此形成形成有所述衍射光栅图案的所述衍射层及所述边缘部的工序;及
以相对于所述规定侧使其相反侧先进行的方式,从所述树脂材料分离所述模具的工序。
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