[发明专利]分光模块及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及将光分光后检测的分光模块及其制造方法。

背景技术

作为以往的分光模块，已知有具备使光透射的基板、形成于基板上的衍射光栅图案、及形成于衍射光栅图案上的反射层的分光模块(例如参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平4-204401号公报

发明内容

发明所要解决的问题

为使上述的分光模块中可靠性提高，衍射光栅图案的形成的稳定化极其重要。尤其是近年来，应谋求分光模块的小型化，衍射光栅图案被微细化、薄型化，对于衍射光栅图案的形成的稳定化的要求正愈来愈强。

因此，本发明鉴于如此情况而完成，其目的在于提供一种可使衍射光栅图案的形成稳定化的分光模块及其制造方法。

解决问题的技术手段

为达成上述目的，本发明的分光模块的特征在于具备：主体部，其使从一侧入射的光透射；分光部，其设于在主体部的另一侧形成的凸状曲面上，将入射于主体部的光分光且向主体部的一侧反射；及光检测元件，其配置于主体部的一侧，检测由分光部分光后的光，分光部具有以沿着曲面的方式形成的衍射层、以比衍射层厚的方式沿着衍射层的周缘一体形成的边缘部、及形成于衍射层的另一侧的反射层，且在衍射层上以相对衍射层的中心偏向于规定侧的方式形成有衍射光栅图案。

如此分光模块中，以比衍射层厚的方式沿着衍射层的周缘一体形成有边缘部。由此，例如使用模具形成衍射层及边缘部时的脱模时，可防止以沿着主体部的凸状曲面的方式形成的衍射层保持于模具上而从曲面剥离。而且，以相对衍射层的中心偏向规定侧的方式形成有衍射光栅图案。由此，前述脱模时，若以相对于衍射层的规定侧使其相反侧先进行的方式进行脱模(即，使对于与模具的粘着性相对变高的衍射光栅图案的脱模相对延迟)，则可防止衍射层剥离、或衍射光栅图案损坏。由此，利用该分光模块，可使衍射光栅图案的形成稳定化。

本发明的分光模块中，优选为反射层形成圆形状。在衍射层的另一侧形成反射层时，分光部也会形成于主体部的凸状曲面上，向旋转方向的位置偏移将容易产生，但由于反射层形成圆形状，因此会吸收向旋转方向的位置偏移。因此，可使分光模块的个体差较少，可抑制灵敏度的偏差。

本发明的分光模块中，优选为反射层以包含于形成有衍射光栅图案的区域内的方式而形成。该情况下，由于衍射层中不形成有衍射光栅图案的区域内不存在反射层，因此可抑制到达未形成有该衍射光栅图案的区域的光不分光地反射至主体部内而由光检测元件检测出、或成杂散光。并且，到达形成有衍射光栅图案的区域且不存在反射层的区域的光，其稍被分光且反射而由光检测元件检测出，因此可谋求灵敏度的提高。

此时，在衍射层的另一侧，优选以包含且覆盖反射层的方式形成有保护层。此时，保护层与形成有衍射光栅图案的区域且反射层不存在的区域接触，因此利用定准(anchor)效应可防止保护层从衍射层剥离。

本发明的分光模块中，优选为衍射光栅图案到达规定侧的边缘部上。此时，直至与规定侧的边缘部的交界为止，可在衍射层高精度地形成衍射光栅图案。另，可容易检查边缘部的衍射光栅图案的状态。

另，本发明的分光模块的制造方法的特征在于：其为上述分光模块的制造方法，包含：在形成于主体部的另一侧的凸状曲面上，载置树脂材料的工序；使模具按压于树脂材料而使树脂材料固化，由此形成形成有衍射光栅图案的衍射层及边缘部的工序；及以相对于规定侧使其相反侧先进行的方式，从树脂材料分离模具的工序。

该分光模块的制造方法中，脱模时以比衍射层厚的方式沿着衍射层的周缘一体形成有边缘部。由此，可防止以沿着主体部的凸状曲面的方式形成的衍射层保持于模具上而从曲面剥离。而且，由于以相对于衍射层的规定侧使其相反侧先进行的方式进行脱模，因此使对于与模具的粘着性相对变高的衍射光栅图案的脱模会相对延迟。由此，可防止衍射层剥离、或衍射光栅图案损坏。由此，根据该分光模块的制造方法，可使衍射光栅图案的形成稳定化。

发明的效果

根据本发明，可使衍射光栅图案的形成稳定化。

附图说明

图1为本发明的分光模块的一实施方式的平面图；

图2为沿着图1的II-II线的剖面图；

图3为图1的分光模块的透镜部的立体图；

图4为图1的分光模块的分光部的剖面图；

图5为图1的分光模块的分光部的底面图；

图6为用以说明本发明的分光模块的制造方法的一实施方式的图；