[发明专利]干式真空泵

权利要求书

1.一种干式真空泵，其特征在于，包含：

泵室，气体通过所述泵室；

油室，与所述泵室邻接设置，存在有油；

旋转轴，贯穿所述泵室并突出到所述油室的内部；

旋转体，在所述泵室内设置在所述旋转轴的周围，与所述旋转轴的旋转联动而旋转；和

圆板状的油密封部件，在所述泵室与所述油室的分界部分设置在所述旋转轴的周围，与所述旋转轴的旋转联动而旋转，具有局部配置在所述油密封部件的面上且沿厚度方向贯穿的多个孔，防止油从所述油室泄漏到所述泵室。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

所述多个孔围绕所述旋转轴而设置。

3.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

所述多个孔形成为圆形，在所述油密封部件的厚度方向上的剖面中形成为曲柄形状。

4.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

所述多个孔形成为圆形，相对于所述油密封部件的厚度方向沿倾斜方向延伸而设置。

5.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

所述多个孔包含多个外侧孔和多个内侧孔，所述多个外侧孔设置在靠近所述油密封部件的外周的位置且形成为圆形，所述多个内侧孔设置在靠近所述油密封部件的中心的位置且形成为圆形，

各个所述多个外侧孔的大小大于各个所述多个内侧孔的大小，所述多个外侧孔和所述多个内侧孔以同心圆状排列。

6.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

所述多个孔在从所述油密封部件的中心朝向外周的径向外侧形成为孔的开口宽度渐渐增大。

7.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于，

所述多个孔的内部配置有烧结金属或网以堵塞孔。