[发明专利]干式真空泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种在真空室内不使用油或液体的机械式的干式真空泵，更详细而言，涉及一种防止油从油室泄漏到泵室的能力优越的干式真空泵。

本申请基于2009年9月25日在申请的特愿2009-220320号要求优先权，在此援引其内容。

背景技术

以往，例如在真空装置等中，使用具有排出气体的泵室的真空泵，作为真空泵已知有干泵(DRP)或机械增压泵(MBP)等。

对于这种干泵(DRP)和机械增压泵(MBP)来说，必须避免轴承或齿轮的润滑所使用的油进入到泵室内。这是出于如下的理由。

第一，为了防止油从油室逆流到干泵中气体被排出的真空容器内。

第二，为了防止油中溶入反应性气体而促进干泵的母材的腐蚀等。

油从油室进入泵室的现象是由于当真空泵内的压力到达规定压力时因油的蒸汽压而扩散的油分子以及因吸入压力的变化而在泵室与油室之间产生的压力差导致产生气体流动使得油分子或油微粒子进入泵室而产生的。

以往，为了防止油从油室流入泵室，例如使用接触型油密封或迷宫式密封等。

当减小油室和泵室的气传导率时，气体的移动量变小，从而防止油从油室流入泵室，因此这种构造是有效的。因此，在以往的干式真空泵中使用接触型油密封或接触型密封环(迷宫式密封)。

然而，该构造由于为接触型，所以有因摩擦而产生机械损伤的危险。现如今，从节省能源的重要性考虑，需要防止该机械损伤的构造。

另一方面，以往已知有通过旋转轴上的环状的轴封环体防止漏油的构造。该构造利用轴封环体的形状或间隙防止漏油(例如，参照专利文献1)，基本上是迷宫式密封构造之一。

此外，已知有构成迷宫式密封的元件复杂化的构造(例如，参照专利文献2)。虽然使构成迷宫式密封的元件复杂化的构造被认为作为防止漏油的构造是有效的，但具有轴封环体和支撑该轴封环体的汽缸构造变得复杂，干式真空泵的制造成本增加的问题。特别是，不容易在汽缸的一部分上切削宽度窄的多个环状槽。

此外，还提出有通过具有泵浦作用的轴封环体来防止漏油的构造(例如，参照专利文献3)，但由于该情况下构造复杂，难以降低干式真空泵的制造成本。

专利文献1：特开2002-332963号公报

专利文献2：特开2008-51116号公报

专利文献3：特开2002-257070号公报

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的是提供一种具有简单的构造并能防止漏油的干式真空泵。

本发明的一形态的干式真空泵，包含：泵室，气体通过所述泵室；油室，与所述泵室邻接设置，存在有油；旋转轴，贯穿所述泵室并突出到所述油室的内部；旋转体，在所述泵室内设置在所述旋转轴的周围，与所述旋转轴的旋转联动而旋转；和圆板状的油密封部件，在所述泵室与所述油室的分界部分设置在所述旋转轴的周围，与所述旋转轴的旋转联动而旋转，具有局部配置在所述油密封部件的面上且沿厚度方向贯穿的多个孔，防止油从所述油室泄漏到所述泵室。

在本发明的一形态的干式真空泵中，优选所述多个孔围绕所述旋转轴而设置。

在本发明的一形态的干式真空泵中，优选所述多个孔形成为圆形，在所述油密封部件的厚度方向上的剖面中形成为曲柄形状。

在本发明的一形态的干式真空泵中，优选所述多个孔形成为圆形，相对于所述油密封部件的厚度方向沿倾斜方向延伸而设置。

在本发明的一形态的干式真空泵中，优选所述多个孔包含多个外侧孔和多个内侧孔，所述多个外侧孔设置在靠近所述油密封部件的外周的位置且形成为圆形，所述多个内侧孔设置在靠近所述油密封部件的中心的位置且形成为圆形，各个所述多个外侧孔的大小大于各个所述多个内侧孔的大小，所述多个外侧孔和所述多个内侧孔以同心圆状排列。

在本发明的一形态的干式真空泵中，优选所述多个孔在从所述油密封部件的中心朝向外周的径向外侧形成为孔的开口宽度渐渐增大。

在本发明的一形态的干式真空泵中，优选所述多个孔的内部配置有烧结金属或网以堵塞孔。

本发明的干式真空泵设置有与旋转轴的旋转联动而旋转的圆板状油密封部件，且形成有局部配置在油密封部件的面上且沿厚度方向贯穿的多个孔，通过油密封部件防止油从油室泄漏到泵室。具有这种结构的油密封部件具有气体能够通过的构造。通过该气体流动，油微粒子或油蒸汽在通过旋转中的油密封部件内部时，吸附在油密封部件。吸附在油密封部件的油通过由油密封部件的旋转而产生的离心力，向油密封部件的周围飞散。