[发明专利]物理量传感器

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

具有在高度方向上位移的可动部和在高度方向上与所述可动部对置配置且限制所述可动部的位移的突起状的限动部，

在所述限动部的与所述可动部对置的对置面的外周设有第一接触端部和第二接触端部，所述第一接触端部是可动部向接近所述限动部的方向位移而首先与所述对置面接触的部分，所述第二接触端部是可动部向从与所述限动部抵接的抵接状态离开的方向位移时首先从所述对置面分离的部分，

所述第一接触端部的与所述可动部接触的接触长度比所述第二接触端部的与所述可动部接触的接触长度长。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一接触端部由直线状或曲线状形成，所述第二接触端部由两个直线部或曲线部、或者所述直线部与所述曲线部相交的交点形成。

3.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一接触端部由直线状形成，所述第二接触端部由曲线状形成。

4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

在所述对置面的外周形成有第一曲线部及第二曲线部，所述第一接触端部包含于所述第一曲线部，所述第二接触端部包含于所述第二曲线部，所述第一曲线部的曲率半径比所述第二曲线部的曲率半径大。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的物理量传感器，其中，

在所述对置面的比第一接触端部及所述第二接触端部靠内侧的位置形成有开口部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的物理量传感器，其中，

所述可动部具有：重物部；以转动自如的方式与被固定支承的锚定部和所述重物部连结的支承部；在所述支承部转动而使所述重物部向高度方向位移时，向所述重物部的位移方向的反方向位移的腿部，

在高度方向上与所述腿部对置的位置上形成有所述限动部。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其中，

所述第一接触端部设置在所述腿部的延伸方向的自由端侧，所述第二接触端部设置在基端侧。

8.一种物理量传感器，其特征在于，

具有在高度方向上位移的可动部和在高度方向上与所述可动部对置配置且限制所述可动部的位移的限动部，

在所述限动部的与所述可动部对置的对置面上的比外周靠内侧的位置形成有第一开口部。

9.根据权利要求8所述的物理量传感器，其中，

所述限动部的对置面的外周构成圆周状或圆周的一部分。

10.根据权利要求8或9所述的物理量传感器，其中，

形成有从所述第一开口部连续地与外周相连的一个以上的第二开口部。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的物理量传感器，其中，

在所述可动部的与所述限动部对置的对置面上形成有蚀刻用孔，在所述可动部与所述限动部抵接时，所述限动部不会嵌入所述蚀刻用孔。