[发明专利]物理量传感器

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器，其具有在高度方向上位移的可动部和限制所述可动部的位移的限动部。

背景技术

在专利文献1所记载的发明中，公开有一种形成有防止相对于可动部的粘附用的突起部的MEMS传感器。

另外，在专利文献2所记载的发明中，公开有一种设有用于防止可动部与固定部直接接触的突起部的MEMS传感器。

在这样的现有技术中，为了降低与可动部的接触面积来提高耐粘附性，而形成为设有突起部的结构，但对用于使可动部与突起部接触时的耐冲击性和耐粘附性一起提高的平面形状未进行考虑。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表平10-512675号公报

专利文献2：日本特开平5-172846号公报

发明内容

因此，本发明用于解决上述现有的课题，其目的在于提供一种尤其是耐冲击性及耐粘附性优良的物理量传感器。

本发明中的物理量传感器的特征在于，

具有在高度方向上位移的可动部和在高度方向上与所述可动部对置配置且限制所述可动部的位移的突起状的限动部，

在所述限动部的与所述可动部对置的对置面的外周设有第一接触端部和第二接触端部，所述第一接触端部为可动部向接近所述限动部的方向位移而首先与所述对置面接触的部分，所述第二接触端部为可动部从与所述限动部抵接的抵接状态向离开的方向位移时首先从所述对置面分离的部分，

所述第一接触端部的与所述可动部接触的接触长度比所述第二接触端部的与所述可动部接触的接触长度长。

这样，在本发明中，由于可动部在与限动部的对置面接触时，首先与第一接触端部接触，因此在接触瞬间，应力施加在第一接触端部上。另外，由于可动部在从限动部的对置面离开时，首先从第二接触端部剥下，因此在剥下瞬间，应力施加在第二接触端部上。在本发明中，第一接触端部的与所述可动部接触的接触长度比所述第二接触端部的与所述可动部接触的接触长度长。因此，在接触瞬间能够使施加在限动部上的应力分散，在剥下瞬间能够使施加在限动部上的应力集中。通过以上，在本发明中，能够构成耐冲击性及耐粘附性优良的限动部。

在本发明中，优选所述第一接触端部由直线状或曲线状形成，所述第二接触端部由两根直线部或曲线部、或者所述直线部与所述曲线部相交的交点形成。由此，能够更有效地促进接触瞬间的应力分散，并且，能够促进剥下瞬间的应力集中。

另外，在本发明中，可以构成为，所述第一接触端部由直线状形成，所述第二接触端部由曲线状形成。

另外，在本发明中，可以构成为，在所述对置面的外周形成有第一曲线部及第二曲线部，所述第一接触端部包含于所述第一曲线部，所述第二接触端部包含于所述第二曲线部，所述第一曲线部的曲率半径比所述第二曲线部的曲率半径大。

另外，优选在所述对置面的比第一接触端部及所述第二接触端部靠内侧的位置形成有开口部。由此，能够使可动部与限动部之间的接触面积更小，从而能够进一步有效地提高耐粘附性。

另外，在本发明中，所述物理量传感器优选适用于如下方式，即，所述可动部具有：重物部；与被固定支承的锚定部和所述重物部连结成转动自如的支承部；在所述支承部转动而使所述重物部向高度方向位移时，相对于所述重物部的位移方向向反方向位移的腿部，

在高度方向上与所述腿部对置的位置形成有所述限动部。

在上述结构中，优选所述第一接触端部设置在所述腿部延伸方向的自由端侧，所述第二接触端部设置在基端侧。由于腿部从自由端侧与限动部接触，并从基端侧剥下，因此通过上述那样将第一接触端部设置在自由端侧，将第二接触端部设置在基端侧，从而能够适当地实现接触瞬间的应力分散和剥下瞬间的应力集中。

或者，本发明中的物理量传感器的特征在于，具有在高度方向上位移的可动部和在高度方向上与所述可动部对置配置且限制所述可动部的位移的限动部，

在所述限动部的与所述可动部对置的对置面上的比外周靠内侧的位置形成有第一开口部。