[发明专利]处理基板的设备及方法

说明书

技术领域

本发明实施例一般关于用以移动、对齐与处理基板的设备。具体来说，本发明实施例可用以在基板上精确地沉积图案化层且接着处理图案化层。

背景技术

太阳能电池是光电(photovoltaic，PV)构件，其将阳光直接转换成电力(或电功率)。太阳能电池通常具有一或多个P-N接合区。每P-N接合区包含了在半导体材料内的两种不同的区域，其中一侧称为p型区，而另一侧称为n型区。当太阳能电池的PN接合区暴露于阳光(含有来自光子的能量)下时，通过PV(光电转换)效应将阳光直接转换成电力。太阳能电池产生一定能量的电力，且将其铺排成模块尺寸，以产生所需的系统功率。可将太阳能电池模块加入具有特定外框与连接构件的面板中。太阳能电池通常形成于硅基板上，上述基板可以是单晶或多晶硅或基板。常见的太阳能电池包含硅晶圆、基板、或厚度通常小于0.3mm的薄层，p型区形成于该基板上，而n型区则位于p型区之上。

过去十年间，PV市场每年的成长率超过30％。某些文献中指出，在不久的将来，全球太阳能电池的电功率产出可能超过10GWp。据估计，所有太阳能模块中有超过95％采用了硅晶圆。在高市场成长率以及需要大幅降低太阳能电力成本的双重影响下，对于如何能够以廉价的方式形成高品质的太阳能电池带来了许多严峻的考验。因而，在制造具有商业可行性的太阳能电池时的一个主要要素是通过提高装置产量，以及提升在太阳能电池制造处理中的基板总产量(throughput)，以降低生产太阳能电池时的制造成本。

网版与喷墨印刷技术已被广泛地运用于在物体(如织品或陶瓷)上印刷设计图样，且也运用在电子产业中以印刷出电子组件图样(如基板表面上的电子接点或互连件)。目前的太阳能电池制造处理中也运用了喷墨与网版印刷处理。在这些处理中，制造总产量会受限于移动单基板以及在其上印刷图案所需的时间。一种增加总产量的方法是使用单个印刷头在同一时间在一个以上的基板上印刷出图案。然而，目前的方法无法在每一单独的基板上提供一致的图案对齐，这可能会导致装置的效能差与效率低。

因而，需要提出一种用以制造太阳能电池、电子电路或其它有用装置的设备，此设备具有一种经改良的方法能够控制在基板处理系统中的基板的移动与对齐。

发明内容

在本发明一个实施例中，用以处理基板的设备包含：

支撑构件，其用以支撑该基板；

输入构件，能够将该支撑构件定位于第一装载位置；

检测构件，能够检测位于该第一位置中的该支撑构件上的基板的位置及方向数据；

至少一个第一处理头，能够在第二处理位置中对位于该支撑构件上的基板进行第一处理；

至少一个第二处理头，能够在第三处理位置中对位于该支撑构件上的基板进行不同于该第一处理的第二处理

移动构件，能够将该支撑构件至少由该第一位置移动至该第二位置以及在该第二位置与第三位置间移动。

根据本发明的一个方面，支撑构件与至少一个第二处理头相互配置，而使得在第二处理进行中，也将该基板保持在相同的支撑构件上。

根据本发明其它实施例，基板处理方法包含以下步骤：

输送基板的操作；

将基板装载于位于第一位置中的支撑构件上的操作；

单个检测操作，能够检测位于该第一位置中的该支撑构件上的基板的位置及方向数据；

移动操作，能够至少将支撑构件连同基板定位于与至少一个第一处理头相对应的第二位置中；

对齐操作，能够根据该单个检测操作中检测到的数据来将至少该第一处理头与位于该第二位置中的该支撑构件上的基板之间的相互位置对齐；

第一处理操作，能够通过位于该第二位置中的该至少一个第一处理头，在位于该第二位置中的该支撑构件上的基板上进行第一处理；

第三移动操作，能够将位于第二位置中的支撑构件朝向第三位置移动，该第三位置对应于至少一个第二处理头，以及将已经位于该第三位置中的支撑构件朝第二位置移动，该第二位置对应于该至少一个第一处理头，其中两次对齐操作皆仅根据在该单个检测操作中检测到的数据，并重复该第一处理操作；

第二处理操作，能够通过该第二处理头在该第三位置中，在位于该支撑构件上的基板上进行第二处理，此第二处理不同于该第一处理；

第四移动操作，能够将支撑构件由该第二位置移动至该第三位置，在该处重复该第二处理操作，且能够将已进行过重复的该第二处理操作的移动支撑构件由第三位置移动至出口位置。

附图说明