[发明专利]用于工具的缓冲存储和运输装置

权利要求书

1.一种运输机构，所述运输机构构造成在制造设施中的缓冲器内运输工件承载器，所述运输机构包括：

运输机，所述运输机构造成在两个轨道上行进，其中，所述运输机包括：(i)平带提升机构，所述平带提升机构构造成使一个或多个工件承载器升起和下降；以及(ii)抓持器机构，所述抓持器机构构造成捕捉和释放所述一个或多个工件承载器；

工件容器，所述工件容器构造成存储一个或多个工件；

包围框架，所述包围框架包括构造成保持所述一个或多个工件容器的一个或多个存储支架；

包围框架，所述包围框架具有构造成用于与高架运输车辆进行工件容器交换的一个或多个输入/输出支架；

包围框架，所述包围框架具有轨道，所述轨道安装在每个支架上方并且在基部处安装在装载端口上方，所述运输机在所述轨道上行进；

包围框架，所述包围框架具有构造成使所述运输机在层之间移动的升降机；

框架升降机，所述框架升降机具有托架，所述托架具有两个轨道以在层之间的运动期间支撑具有工件容器的所述运输机；

框架升降机，所述框架升降机具有用于使所述托架的轨道与安装于所述框架的轨道对齐的对齐能力，该安装于所述框架的轨道位于每个支架上方以及位于所述框架的基部处且在装载端口上方；

框架支撑件，所述框架支撑件构造成在处理工具的一个或多个装载端口上方举起所述框架；以及

控制机构，所述控制机构构造成：

指令所述运输机从支架移动至装载端口位置/从装载端口位置移动，从而运输工件容器；

指令所述升降机层到层地移动，从而移动所述运输机；

使所述升降机、所述运输机以及所述工件容器的运动同步；并且

与对工件容器在制造设施内的运动进行管理的工件容器运动系统交换命令。

2.根据权利要求1所述的运输机构，其中，所述控制机构构造成：

命令运输机行进至起始位置；

命令提升机构使抓持机构下降至所述工件承载器；

命令抓持机构捕捉所述工件承载器；

命令提升机构使带有所捕捉的工件承载器的所述抓持机构上升至停驻位置；

命令运输机行进至目的位置；

命令提升机构使带有所述所捕捉的工件承载器的所述抓持机构下降至目的地；

命令抓持机构释放所述工件承载器；并且

命令提升机构使所述抓持机构缩回。

3.根据权利要求1所述的运输机构，其中，所述制造设施包括半导体制造设施。

4.根据权利要求1所述的运输机构，其中，所述制造设施包括平板制造设施。

5.根据权利要求1所述的运输机构，其中，所述运输机构造成以内部动力操作。

6.根据权利要求1所述的运输机构，其中，所述抓持器构造成以内部动力操作。

7.根据权利要求1所述的运输机构，其中，所述内部动力包括电池存储动力。

8.根据权利要求1所述的运输机构，其中，所述运输机构造成从电阻耦合电气连接件接收外部动力。