[发明专利]基板支承装置、基板支承构件、基板搬送装置、曝光装置、及元件制造方法

权利要求书

1.一种基板支承装置，是用以支承基板，其特征在于，具备：

装载部，用以装载该基板；以及

至少一个支承部，从该装载部突设，支承装载于该装载部的该基板的一部分；

该支承部具有固定于该装载部的基部，及设成可相对该基部移动、与装载于该装载部的该基板抵接的抵接部。

2.如权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于其中，该支承部具有将该基部与该抵接部连接成可彼此相对移动的连接部。

3.如权利要求2所述的基板支承装置，其特征在于其中，该连接部具有具弹性的弹性构件。

4.如权利要求2所述的基板支承装置，其特征在于其中，该连接部具有包含磁力彼此影响的多个磁性构件的磁性构件组。

5.如权利要求2至4中任一权利要求所述的基板支承装置，其特征在于其中，该连接部包含限制该抵接部相对该基部的移动范围的限制部。

6.如权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于其中，该基部与该抵接部具备磁力彼此影响的磁性构件。

7.如权利要求1至6中任一权利要求所述的基板支承装置，其特征在于其中，该抵接部是设成可相对该装载部或该基部滑动。

8.如权利要求1至7中任一权利要求所述的基板支承装置，其特征在于其中，该抵接部是设成可在沿着该装载部的基板装载面的方向移动。

9.如权利要求8所述的基板支承装置，其特征在于其中，该抵接部是设成可在与该装载部的基板装载面交叉的方向移动。

10.如权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于其中，该支承部是以在该装载部的中央侧疏松、在该装载部的外缘侧密集的方式配置多个。

11.如权利要求10所述的基板支承装置，其中，配置在该装载部的中央侧的该支承部彼此的间隔较配置在该装载部的外缘侧的该支承部彼此的间隔宽广。

12.如权利要求10或11所述的基板支承装置，其特征在于其中，该装载部是设成沿着两侧部被支承；

在该装载部列设多个由沿着该两侧部排成一列的多个该支承部构成的支承部列；

配置在该装载部的中央侧的该支承部列彼此的间隔较配置在该装载部的外缘侧的该支承部列彼此的间隔宽广。

13.一种基板搬送装置，是用以搬送基板，其特征在于，具备：

权利要求1至12中任一权利要求所述的基板支承装置，用以支承该基板；以及

搬送部，保持该基板支承装置并移动。

14.如权利要求13所述的基板搬送装置，其特征在于其中，该搬送部保持该装载部的两侧部。

15.如权利要求13或14所述的基板搬送装置，其特征在于其中，该搬送部，使该基板支承装置向保持该基板的基板保持具移动，将该基板支承装置支承的该基板交接至该基板保持具。

16.如权利要求15所述的基板搬送装置，其特征在于其中，该搬送部将该基板支承装置交接至该基板保持具。

17.如权利要求16所述的基板搬送装置，其特征在于其中，该搬送部将该基板交接至该基板保持具中的欲装载该基板的保持具部，将该基板支承装置交接至该基板保持具中的与该保持具部不同的部分。

18.如权利要求17所述的基板搬送装置，其特征在于其中，该搬送部将该基板支承装置交接至该基板保持具中的槽状设置于该保持具部的槽部。

19.如权利要求13至18中任一权利要求所述的基板搬送装置，其特征在于其具备支承该基板并交接至该基板支承装置的多个支承销；

该搬送部使该基板搬送装置移动以将支承于该支承销的该基板装载至该基板搬送装置。

20.一种曝光装置，是对基板保持具保持的基板照射曝光用光以使该基板曝光，其特征在于：

具备将该基板搬送至该基板保持具的权利要求13至19中任一权利要求所述的基板搬送装置。

21.一种元件制造方法，其特征在于包含：

使用权利要求20所述的曝光装置使该基板曝光的动作；以及

根据曝光结果处理曝光后的该基板的动作。