[发明专利]基板支承装置、基板支承构件、基板搬送装置、曝光装置、及元件制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种基板支承装置、基板支承构件、基板搬送装置、曝光装置、及元件制造方法。

本申请根据2009年10月20日申请的美国临时申请第61/272677号及2010年1月7日申请的日本特愿2010-002005号主张优先权，并将其内容援引于此。

背景技术

在平板显示器等的电子元件的制造工艺中，是使用曝光装置或检查装置等大型基板的处理装置。在使用此等处理装置的曝光步骤、检查步骤，是使用将大型基板(例如玻璃基板)搬送至处理装置的下述专利文献所揭示的搬送装置。

专利文献1：日本特开2001-100169号公报

专利文献2：日本特开2004-273702号公报

发明内容

例如在专利文献1所揭示的大型基板的搬送装置，在将搬出入部所保持的基板交接至基板支承构件(基板支承装置)时，基板与基板支承构件是分别受到支承。因此，依基板的支承方法会有使基板因本身重量而向下方弯曲的情形。若将因本身重量而呈弯曲状态的基板交接至基板支承构件，则基板的向下方弯曲的部分会与基板支承构件接触，由于接触部分的摩擦，在基板支承构件上基板会维持弯曲状态。

例如在曝光装置，若将呈如上述变形状态的基板交接至曝光用的基板保持具，则会产生无法在基板上的适当位置进行既定曝光等的曝光不良的问题。又，在装载于基板支承装置的基板产生弯曲的情形，为了解决上述情形而重新进行交接，因此会产生基板的处理延迟的问题。

本发明的形态的目的在于提供一种可解决在基板交接时产生的基板的弯曲的基板支承构件、基板搬送装置、曝光装置、及元件制造方法。

本发明第1形态的基板支承装置，是用以支承基板，其特征在于，具备：装载部，用以装载该基板；以及至少一个支承部，从该装载部突设，支承装载于该装载部的该基板的一部分；该支承部具有固定于该装载部的基部，及设成可相对该基部移动、与装载于该装载部的该基板抵接的抵接部。

本发明第2形态的基板搬送装置，是用以搬送基板，其特征在于，具备：上述基板支承装置，用以支承该基板；以及搬送部，保持该基板支承装置并移动。

本发明第3形态的曝光装置，是对基板保持具保持的基板照射曝光用光以使该基板曝光，其特征在于：具备将该基板搬送至该基板保持具的上述基板搬送装置。

本发明第4形态的元件制造方法，包含：使用上述曝光装置使该基板曝光的动作；以及根据曝光结果处理曝光后的该基板的动作。

本发明第5形态的基板支承构件，是用以支承基板，其特征在于，具备：装载部，在装载有该基板的状态下，两侧部被支承；以及多个支承部，从该装载部突设，支承装载于该装载部的该基板的一部分；该支承部在该装载部的外缘侧的设置密度较该支承部在该装载部的中央侧的设置密度高。

本发明第6形态的基板搬送装置，是用以搬送基板，其特征在于，具备：上述基板支承构件，用以支承该基板；以及搬送部，保持该基板支承构件并移动。

本发明第7形态的曝光装置，是对基板保持具保持的基板照射曝光用光以使该基板曝光，其特征在于：具备将该基板搬送至该基板保持具的上述基板搬送装置。

本发明第8形态的元件制造方法，包含：使用上述曝光装置使该基板曝光的动作；以及根据曝光结果处理曝光后的该基板的动作。

根据本发明的形态，可解决在基板交接时产生的基板的弯曲。

附图说明

图1是显示曝光装置的整体概略的剖面俯视图。

图2是搬送机器手的外观立体图。

图3是用以说明搬送机器手的动作的立体图。

图4是显示搬出入部的概略构成的侧视图。

图5是显示托盘的平面构造的俯视图。

图6是显示托盘收容于基板保持具的槽部的状态的部分侧剖面图。

图7是支承可动部的放大侧剖面图。

图8是显示支承可动构件的配置的托盘的俯视图。

图9是以颜色的浓淡显示基板的弯曲的俯视图。

图10(a)～(c)是说明现有习知曝光装置的基板交接步骤的示意图。

图11(a)～(c)是说明现有习知曝光装置的基板交接步骤的示意图。

图12(a)～(c)是说明本实施形态的曝光装置的基板交接步骤的示意图。

图13(a)～(c)是说明本实施形态的曝光装置的基板交接步骤的示意图。

图14A是显示支承可动部的变形例的剖面图。

图14B是显示支承可动部的变形例的剖面图。