[发明专利]振动型驱动装置以及振动型驱动装置的控制方法无效
申请号: | 201080046619.6 | 申请日: | 2010-10-06 |
公开(公告)号: | CN102725950A | 公开(公告)日: | 2012-10-10 |
发明(设计)人: | 吉田龙一;新家聪 | 申请(专利权)人: | 柯尼卡美能达先进多层薄膜株式会社 |
主分类号: | H02N2/00 | 分类号: | H02N2/00;G05D3/00;G05D3/12;H01L41/09;H01L41/18;H01L41/187;H01L41/22 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 许海兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 驱动 装置 以及 控制 方法 | ||
技术领域
本发明涉及振动型驱动装置以及振动型驱动装置的控制方法。
背景技术
已知如下振动型驱动装置,该振动型驱动装置通过将电压变换为机械性移位的机电变换元件而使驱动部件在轴方向上锯齿状地非对称地进行振动,使与驱动部件摩擦接合的移动体相对于驱动部件在轴方向上滑行移位。在振动型驱动装置中,对机电变换元件施加的驱动电压的每1个周期的移动体的移位量严格地说是不固定的,实际的移动体的位置有时偏离根据驱动电压推测的位置。因此,在通过以往的振动型驱动装置进行定位的情况下,如专利文献1所记载那样需要设置对移动体的位置进行检测的传感器。
另外,作为简易的结构还有如下结构:设置与移动体抵接来确定移动体的可动范围的部件,施加能够使移动体移动比可动范围充分长的距离的驱动电压,从而一次就使移动体移动到可动范围的一端,将该可动端作为基点,施加用于使移动体移动至期望的位置的驱动电压,由此抑制移动体的定位误差。
但是,在该结构中,在移动体到达可动端之后也需要在一定时间内继续施加驱动电压,存在驱动花费时间这样的问题。例如,在利用2个振动型驱动装置使移动体在X-Y方向上扫描移动的情况下,针对每个扫描需要使移动体移动至可动端,这种多余的驱动时间累积而成为大的时间损耗。
另外,在以往的振动型驱动装置中由于使用了滑行移位,所以移动体到达可动端之后移动体也在驱动部件上滑行,机电变换元件继续振动。因此,还存在在可动端附近的位置容易产生驱动部件等的不均匀磨损这样的问题。这样的不均匀磨损造成异常的摩擦,所以成为移动体在可动端处临时固定于驱动部件的状态,在想要使移动体从可动端进行移动而输入了驱动电压时移动体的移动发生延迟,从而有时无法使移动体定位到期望的位置。
为了消除可动端处的多余的驱动,考虑设置能够对移动体到达可动端的情形进行检测的传感器,但传感器的检测精度与装置的定位精度直接相关,所以需要使用昂贵的传感器,无法避免大幅的成本上升。
专利文献1:日本特开2000-78861号公报
发明内容
鉴于上述问题,本发明的课题在于提供一种能够低成本地检测移动部件到达可动端的情形的振动型驱动装置、以及不会为了移动体的定位而施加过剩的驱动电压的振动型驱动装置的控制方法。
为了解决上述课题,本发明的振动型驱动装置具备:机电变换元件,在被施加电压时产生机械性移位;驱动部件,通过所述机电变换元件而进行移动;移动体,以能够滑行移位的方式与所述驱动部件接合;限制部件,通过与所述移动体抵接而限制所述移动体的移动;驱动电路,对所述机电变换元件施加周期性地变化的驱动电压;检测电路,检测所述机电变换元件的阻抗;以及判定单元,在所述检测电路的检测值是规定值以上时,判断为所述移动体与所述限制部件抵接。
根据该结构,在移动体抵接到限制部件时,防止移动体与通过机电变换元件的移位而移动的驱动部件一起向限制部件侧进一步进行移动,因此对机电变换元件作用抑制其移位的力,作为其结果,机电变换元件的阻抗上升。因此,如果阻抗的检测值是某值以上,则能够判断为移动体处于抵接到限制部件的可动端。由此,不需要进行在移动体抵接到限制部件之后进一步施加使其向限制部件侧移动那样的驱动电压的无用的控制,能够实现移动体的快速的定位,还能够防止可动端中的驱动部件的不均匀磨损。
另外,在本发明的振动型驱动装置中,所述检测电路也可以是使用检测电阻来检测通过所述驱动电压的施加而流过的电流值的公知的结构。
而且,在本发明的振动型驱动装置中,所述机电变换元件也可以通过电压的施加而产生锯齿状的机械性移位。
另外,根据本发明,提供一种振动型驱动装置的控制方法,其中,该振动型驱动装置具有:机电变换元件,在被施加电压时产生机械性移位;驱动部件,通过所述机电变换元件而进行移动;移动体,以能够滑行移位的方式与所述驱动部件接合;以及限制部件,通过与所述移动体抵接而限制所述移动体的移动,所述振动型驱动装置的控制方法的第1方式是如下方法:为了使移动体与所述限制部件抵接,一边对所述机电变换元件施加周期性地变化的驱动电压,一边检测所述机电变换元件的阻抗,在所述阻抗的检测值成为规定值以上时,停止施加所述驱动电压。
另外,本发明的振动型驱动装置的控制方法的第2方式是如下方法:为了使所述移动体在从所述限制部件离开预定的距离的位置处停止,检测所述机电变换元件的阻抗,在所述阻抗的检测值是规定值以上的状态下,对所述机电变换元件施加周期性地变化的驱动电压,在从所述阻抗的检测值成为小于规定值起经过了预定的时间之后,停止施加所述驱动电压。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于柯尼卡美能达先进多层薄膜株式会社,未经柯尼卡美能达先进多层薄膜株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201080046619.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:模具顶针回位保护开关
- 下一篇:测试适配板