[发明专利]放射线敏感性树脂组合物以及层间绝缘膜的形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及放射线敏感性树脂组合物和层间绝缘膜的形成方法。

背景技术

薄膜晶体管(以下称为“TFT”)型液晶显示元件、磁头元件、集成电路元件、固体摄像元件之类的电子部件中，通常为了使层状配置的布线之间绝缘而设置层间绝缘膜。在TFT型液晶显示元件中，是经由在上述层间绝缘膜上形成透明电极膜、进一步在该透明电极膜上形成液晶取向膜的工序来制造的。因此，层间绝缘膜在透明电极膜的形成工序中暴露于高温条件中，并且暴露于在电极图案形成中使用的抗蚀剂的剥离液，因此必须对它们有足够的耐性。

形成所述层间绝缘膜的材料优选为获得所需图案形状而进行的工序数少、并且具有充分的平坦性的材料。从上述观点考虑，放射线敏感性树脂组合物作为层间绝缘膜形成用的材料得到广泛使用(参照日本特开2001-343743号公报)。

近年来，在TFT型液晶显示元件中，有要求大画面化、高亮度化、高精细化、高速响应化、薄型化等的动向，对于其中所使用的层间绝缘膜也要求高分辨率和高透射率之类的高性能。并且，随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，对层间绝缘膜要求耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性提高，并且随着生产成本的削减，要求放射线敏感性树脂组合物的保存稳定性提高。

另外，滤色器也使用放射线敏感性树脂组合物形成。这种滤色器领域中，通过不引起显影性变差或残余物的产生的情况下改善密合性，而且提高制品的生产率和成品率，对于以低成本制造滤色器的方法进行了各种研究。例如日本特开2005-338400号公报中公开了一种负片型着色感光性树脂组合物，该组合物含有粘合剂聚合物、光聚合性单体、色素、光聚合引发剂、具有2个以上羧基的受阻胺化合物以及有机溶剂，并说明了由此可实现上述目的。但是日本特开2005-338400号公报所述的技术是特指滤色器的制造，对于将该技术应用于层间绝缘膜的可能性未有任何记载和暗示。

如上所述，目前尚未知有一种放射线敏感性树脂组合物，其可满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能，且可以以高分辨率提供层间绝缘膜，同时保存稳定性也优异，其中随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，该层间绝缘膜的耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异。

发明内容

本发明是基于上述情况而作出的，其目的在于提供一种放射线敏感性树脂组合物，它可满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能，且可以以高分辨率提供层间绝缘膜，同时保存稳定性也优异，其中随着为提高制品的成品率而采取的工艺的效率化，该层间绝缘膜的耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异。

本发明的又一目的在于提供可满足透光率高等的作为层间绝缘膜通常所要求的各性能、同时耐热尺寸稳定性、耐热变色性、与基板的密合性等优异的层间绝缘膜的制造方法。

根据本发明，本发明的上述目的和优点通过第1方面的放射线敏感性树脂组合物实现，该放射线敏感性树脂组合物含有[A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物、以及[C]自由基捕获剂。

本发明的上述目的和优点通过第2方面的层间绝缘膜的形成方法实现，该方法按照以下顺序包含以下所述工序：

(1) 在基板上涂布上述放射线敏感性树脂组合物，形成涂膜的工序，

(2) 对该涂膜的至少一部分照射放射线的工序，

(3) 显影工序，以及

(4) 加热工序。

附图说明

图1是表示可采用本发明的放射线敏感性树脂组合物的液晶显示元件的一个例子的截面图。

图2是表示可采用本发明的放射线敏感性树脂组合物的液晶显示元件的另一个例子的截面图。

图3是表示可采用本发明的放射线敏感性树脂组合物的液晶显示元件的又一个例子的截面图。

图4是表示可采用本发明的放射线敏感性树脂组合物的液晶显示元件的又一个例子的截面图。

具体实施方式

以下对本发明的放射线敏感性树脂组合物进行详述。

本发明的放射线敏感性树脂组合物含有 [A]碱可溶性树脂、[B]1,2-醌二叠氮化合物、和[C]自由基捕获剂。

[A]碱可溶性树脂