[发明专利]药液供给装置以及药液供给方法有效
申请号: | 201080046913.7 | 申请日: | 2010-07-13 |
公开(公告)号: | CN102576660A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 武石敏男 | 申请(专利权)人: | 株式会社小金井 |
主分类号: | H01L21/027 | 分类号: | H01L21/027;G03F7/16;B05C11/10 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 药液 供给 装置 以及 方法 | ||
1.一种药液供给装置,其特征在于,包括:
吸入流道,所述吸入流道与泵连接,所述泵设置有通过泵部件而膨胀收缩的泵室,所述吸入流道将药液容器内的药液导向所述泵室;
喷出流道,所述喷出流道连接在所述泵和喷出喷嘴之间,将所述泵室内的药液喷出至所述喷出喷嘴;以及
循环流道,在所述循环流道设置有将从所述泵室提供的药液临时储存的膨胀收缩部,且所述循环流道的流入部和流出部分别连接于所述泵,将从所述泵室提供的药液回流至所述泵室,
其中,在所述循环流道设置有对经由所述循环流道回流至所述泵室的药液进行过滤的过滤器,
通过所述泵进行所述药液容器内的药液在所述循环流道中的循环动作、和所述循环流道内被过滤的药液向所述喷出喷嘴喷出的喷出动作。
2.根据权利要求1所述的药液供给装置,其特征在于,
所述膨胀收缩部是通过自由弹性变形的罐部件形成膨胀收缩室的罐。
3.根据权利要求1或2所述的药液供给装置,其特征在于,
所述药液供给装置包括:
喷出阀单元,当使所述泵室收缩而将所述泵室内的药液喷出至所述喷出喷嘴时打开所述喷出流道;
吸入阀单元,当使所述泵室膨胀而将所述药液容器内的药液导向所述泵室内时打开所述吸入流道;
循环阀单元,当将所述泵室内的药液提供给所述循环流道时打开所述循环流道的所述流入部;以及
回流阀单元,当将被所述过滤器过滤的药液回流至所述泵室时打开所述循环流道的所述流出部。
4.一种药液供给方法,所述药液供给方法是药液供给装置的药液供给方法,所述药液供给装置包括:吸入流道,将通过装在泵内的泵部件划分且膨胀收缩的泵室和药液容器连接;循环流道,设置有将从所述泵室提供的药液临时储存的膨胀收缩部,且将从所述泵室提供的药液回流至所述泵室;以及喷出流道,将所述泵室和喷出喷嘴连接,在所述药液供给方法中,将所述药液容器内的药液喷出至所述喷出喷嘴,所述药液供给方法的特征在于,包括:
吸入工序,在将所述吸入流道打开的状态下,使所述泵室膨胀,将所述药液容器内的药液导向所述泵室;
过滤工序,在将所述循环流道的流入部打开的状态下,使所述泵室收缩,将从所述泵室提供的药液通过过滤器进行过滤;
回流工序,在将所述循环流道的流出部打开的状态下,使所述泵室膨胀,将从所述循环流道回流的被过滤的药液吸入至所述泵室;以及
喷出工序,在将所述喷出流道打开的状态下,使所述泵室收缩,将所述泵室内的被过滤的药液喷出至所述喷出喷嘴,
其中,通过所述泵进行所述药液容器内的药液在所述循环流道中的循环动作、和所述循环流道内的过滤后的药液向所述喷出喷嘴喷出的喷出动作。
5.根据权利要求4所述的药液供给方法,其特征在于,
所述膨胀收缩部是通过自由弹性变形的罐部件形成膨胀收缩室的罐。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造