[发明专利]直列式成膜装置、磁记录介质的制造方法以及闸阀

权利要求书

1.一种直列式成膜装置，其特征在于，具备：

进行成膜处理的多个腔室；

载体，其在所述多个腔室内保持作为成膜对象的基板；

输送机构，其在所述多个腔室之间依次输送所述载体；和

闸阀，其设置于所述多个腔室之间，对所述载体所通过的通路进行开闭；

所述闸阀具有：设有形成所述通路的开口部的一对分隔壁；在所述一对分隔壁之间被移动操作的阀体；和在将所述开口部封闭的位置与将所述开口部开放的位置之间驱动所述阀体的驱动机构；

所述驱动机构是气缸机构，具有：连接于所述阀体的活塞；配置有所述活塞的缸；连接于所述缸内的第1空间的第1阀机构；和连接于所述缸内的第2空间的第2阀机构；

一边经由所述第1阀机构向所述第1空间供给空气，一边经由所述第2阀机构从所述第2空间排出空气，由此向所述阀体将所述开口部封闭的一个方向按压所述缸内的活塞而使其移动；

另一方面，一边经由所述第2阀机构向所述第2空间供给空气，一边经由所述第1阀机构从所述第1空间排出空气，由此向所述阀体将所述开口部开放的另一个方向按压所述缸内的活塞而使其移动；

所述气缸机构在所述缸内的活塞就要到达所述一个方向的端部之前，通过所述第2阀机构对从所述第2空间排出的空气的流量进行节流；

另一方面，在所述缸内的活塞就要到达所述另一个方向的端部之前，通过所述第1阀机构对从所述第1空间排出的空气的流量进行节流。

2.如权利要求1所述的直列式成膜装置，其特征在于：

所述第1阀机构具有并列连接于所述缸内的第1空间的第1开闭阀以及第1流量调整阀；

所述第2阀机构具有并列连接于所述缸内的第2空间的第2开闭阀以及第2流量调整阀；

所述气缸机构一边经由所述第1开闭阀以及所述第1流量调整阀向所述第1空间供给空气，一边经由所述第2开闭阀以及所述第2流量调整阀从所述第2空间排出空气，由此向所述阀体将所述开口部封闭的一个方向按压所述缸内的活塞而使其移动，在该活塞就要到达所述一个方向的端部之前，通过将所述第2开闭阀完全关闭而仅通过所述第2流量调整阀排气；

另一方面，一边经由所述第2开闭阀以及所述第2流量调整阀向所述第2空间供给空气，一边经由所述第1开闭阀以及所述第1流量调整阀从所述第1空间排出空气，由此向所述阀体将所述开口部开放的另一个方向按压所述缸内的活塞而使其移动，在该活塞就要到达所述另一个方向的端部之前，通过将所述第1开闭阀完全关闭而仅通过所述第1流量调整阀排气。

3.如权利要求2所述的直列式成膜装置，其特征在于：所述第1开闭阀以及所述第2开闭阀为电磁阀，所述第1流量调整阀以及所述第2流量调整阀为针阀。

4.如权利要求2或3所述的直列式成膜装置，其特征在于：

具备导向机构，其具有与所述阀体一体移动的移动体以及和所述移动体接合的导向孔，通过所述移动体在所述导向孔内移动，对所述阀体进行导向，使其能够向所述通路的切断方向移动；

所述导向机构具有在所述移动体位于所述导向孔的至少一方的端部时与该移动体抵接的树脂挡块。

5.一种磁记录介质的制造方法，其特征在于：包括使用如权利要求1～4中的任意一项所述的直列式成膜装置而在所述基板的表面至少形成磁性层的工序。