[发明专利]直列式成膜装置、磁记录介质的制造方法以及闸阀

说明书

技术领域

本发明涉及一边在多个腔室之间依次输送作为成膜对象的基板一边进行成膜处理的直列式成膜装置、使用该直列式成膜装置的磁记录介质的制造方法以及在该直列式成膜装置的多个腔室之间进行通路的开闭的闸阀。

本申请基于2009年12月18日在日本申请的特愿2009-287679号主张优先权，在这里引用其内容。

背景技术

近年来，在使用于硬盘装置等的磁记录介质的领域，记录密度的提高显著，特别在最近，记录密度以1年间1.5倍左右的惊人的速度不断增长。

这样的磁记录介质具有例如在非磁性基板的双面或者单面依次层叠有晶种膜(シ一ド膜)、基底膜、磁记录膜、保护膜以及润滑剂膜的构造，一般，使用一边在多个腔室之间依次输送被保持于载体的基板一边进行成膜处理的直列式成膜装置进行制造(例如，参照专利文献1)。

具体地说，直列式成膜装置具有将进行成膜处理的多个腔室经由闸阀连接的构造。另外，在各腔室内，在载体的输送方向上并列设置有被支撑得围绕水平轴旋转自如的多个轴承，载体能够在这多个轴承之上移动。

另一方面，载体具有多个支架，在这些支架上，设有：将基板配置于内侧的孔部，和能够弹性变形地安装于该孔部的周围的多个保持爪。而且，支架能够一边使基板的外周部与多个保持爪抵接一边将被嵌入这些保持爪的内侧的基板保持得装卸自如。

另外，在直列式成膜装置中，通过设置于各腔室之间的闸阀进行对载体通过的通路进行开闭的动作。具体地说，闸阀具有设有形成上述的通路的开口部的一对分隔壁与在这一对分隔壁之间被移动操作的阀体。而且，在该闸阀中，通过阀体通过气缸等驱动机构向将通路切断的方向移动、然后阀体向与一方的分隔壁接触的方向倾斜移动的动作，由此能够在成膜处理中将开口部封闭。另一方面，能够通过与该动作相反的动作，在载体的输送中将开口部开放。进而，这样的闸阀在各腔室之间配设有2个，设置于另一方的分隔壁的开口部也能够同样进行开闭。

而且，在该直列式成膜装置中，通过由闸阀将各腔室隔离、然后对腔室内减压，能够将各腔室内分别设为独立的压力条件而进行成膜处理。

磁记录介质能够使用这样的直列式成膜装置连续进行制造，在处理基板的操作时不会污染基板，进而能够减少操作工序等而将制造工序高效化，提高产品成品率而提高磁记录介质的生产性。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：特开2002-288888号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在上述的直列式成膜装置中，为了提高磁记录介质的生产性，要求将闸阀进行的开闭动作高速化。然而，在以往的直列式成膜装置中，通过提高闸阀的开闭速度，在闸阀上产生较大的振动。

具体地说，在以往的闸阀中，在上述阀体的驱动机构使用气缸。在该情况下，能够通过提高气缸的驱动气压而提高闸阀的开闭速度，但会在闸阀上产生较大的振动。

在直列式成膜装置中，通过伴随着这样的闸阀的高速开闭动作的振动，会导致闸阀的寿命下降。另外，通过伴随着这样的高速开闭动作的磨损的产生，腔室内会被污染。进而，在通过伴随着这样的高速开闭动作的振动、在腔室内飞舞的灰尘附着于基板、由于该振动使得基板从所述支架脱落或者通过与所述保持爪的摩擦而损伤基板时，会导致所制造的磁记录介质的品质下降。

本发明是鉴于这样的以往的情况而提出的，其目的在于提供能够一边抑制伴随着闸阀的开闭动作的振动的产生，一边高速进行该闸阀的开闭动作的直列式成膜装置、使用这样的直列式成膜装置的磁记录介质的制造方法以及适于使用于这样的直列式成膜装置的闸阀。

用于解决课题的方案

本发明提供下面的技术方案。

(1)一种直列式成膜装置，其特征在于，具备：

进行成膜处理的多个腔室；

载体，其在所述多个腔室内保持作为成膜对象的基板；

输送机构，其在所述多个腔室之间依次输送所述载体；和

闸阀，其设置于所述多个腔室之间，对所述载体所通过的通路进行开闭；

所述闸阀具有：设有形成所述通路的开口部的一对分隔壁；在所述一对分隔壁之间被移动操作的阀体；和在将所述开口部封闭的位置与将所述开口部开放的位置之间驱动所述阀体的驱动机构；

所述驱动机构是气缸机构，具有：连接于所述阀体的活塞；配置有所述活塞的缸；连接于所述缸内的第1空间的第1阀机构；和连接于所述缸内的第2空间的第2阀机构；