[发明专利]蚀刻液组成物有效
| 申请号： | 201080049723.0 | 申请日： | 2010-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN102753652A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 李昔准;慎蕙驘;权五柄;李喻珍 | 申请（专利权）人： | 东友FINE-CHEM股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/08 | 分类号： | C09K13/08;C23F1/20;C23F1/30 |
| 代理公司： | 上海旭诚知识产权代理有限公司 31220 | 代理人： | 郑立;高为华 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组成 | ||
1.一种由铟系金属膜、铝-镧系合金膜及钛系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物，其特征在于，在组成物的总重量中，包含：
过氧化氢的重量占1％～15％、
无机酸的重量占0.1％～10％、
含氟化合物的重量占0.01％～5％、
和其余的水的部分。
2.如权利要求1所述的由铟系金属膜、铝-镧系合金膜及钛系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物，其特征在于，在组成物的总重量中，包含：
过氧化氢的重量占2％～12％、
无机酸的重量占1％～7％、
含氟化合物的重量占0.1％～2％、
和其余的水的部分。
3.如权利要求1所述的由铟系金属膜、铝-镧系合金膜及钛系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物，其特征在于，所述无机酸是从由硝酸、硫酸及其组合所组成的群中选择的一种。
4.如权利要求1所述的由铟系金属膜、铝-镧系合金膜及钛系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物，其特征在于，所述含氟化合物是从由氟化氨、氟化钠、氟化钾、重氟化氨、重氟化钠及重氟化钾所组成的群中选择的一种或两种以上的含氟化合物。
5.如权利要求1所述的由铟系金属膜、铝-镧系合金膜及钛系金属膜所组成的三重膜的蚀刻液组成物，其特征在于，所述铝-镧系合金膜是用含有铝原子占90％以上、La原子占10％以下及其余是其他金属(X)的Al-La或Al-La-X表示的铝-镧系合金膜，其中，所述其他金属(X)是从由Mg、Zn、In、Ca、Te、Sr、Cr、Co、Mo、Nb、Ta、W、Ni、Nd、Sn、Fe、Si、Ti、Pt及C所组成的群中选择的一种或两种以上。
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