[发明专利]太阳能电池模块的制造方法及太阳能电池模块的制造装置

权利要求书

1.一种太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：

通过从透明基板侧向层叠体照射第一激光，除去所述第一激光所照射的第一区域内的光电转换层及里侧电极层，其中所述层叠体包括所述透明基板以及在所述透明基板上顺次形成的透明电极层、所述光电转换层及所述里侧电极层，

并且，通过在所述第一区域内，以与所述第一区域的周边分离的方式照射具有与所述第一激光不同的特性的第二激光，除去所述第二激光所照射的第二区域内的所述透明电极层。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：

所述第一激光和所述第二激光具有包含在红外线波长域内的相同的波长，且以比所述第一激光更高的能量密度照射所述第二激光。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：

所述第一激光具有包含在绿色光波长域内的波长，所述第二激光具有包含在红外线波长域内的波长。

4.根据权利要求2或3所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：

所述第二激光从所述透明基板侧向所述层叠体照射。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池模块的制造方法，其特征在于：

所述第二区域包括所述层叠体的端部。

6.一种太阳能电池模块的制造装置，其特征在于，所述太阳能电池模块的制造装置中，向包括透明基板和在所述透明基板上顺次形成的透明电极层、光电转换层及里侧电极层的层叠体照射激光，所述太阳能电池模块的制造装置包括：

激光振荡部，生成具有包含在红外线波长域内的波长的激光；

输出调节机构，在除去所述光电转换层及所述里侧电极层时，通过调节所述激光的输出来形成第一激光，以及在除去所述透明电极层时，通过调节所述激光的输出来形成具有比所述第一激光更高的输出的第二激光；

平台，载置所述层叠体；

位置控制机构，控制所述激光振荡部与所述平台的相对位置，从而使得第二区域包含在第一区域中，并且所述第二区域的周边与所述第一区域分离；其中所述第一区域是通过向所述层叠体照射所述第一激光而形成，所述第一区域中所述光电转换层及所述里侧电极层，以及所述第二区域是通过向所述层叠体照射所述第二激光而形成，所述第二区域中所述透明电极层被除去。