[发明专利]太阳能电池模块的制造方法及太阳能电池模块的制造装置

说明书

技术领域

本发明涉及包括除边工序的太阳能电池模块的制造方法及用于该方法的太阳能电池模块的制造装置。

背景技术

太阳能电池由太阳能电池模块构成，所述太阳能电池模块在一个基板上形成有多个进行光能发电的最小单位的太阳能电池单元。在此，在太阳能电池模块的制造工序中存在一个被称为除边的工序。一般来说，太阳能电池模块的制造工序包括在由玻璃等构成的基板上均匀地形成薄膜的工序，所述薄膜包括透明电极层、光电转换层、里侧电极层等。在此，在基板的周边部(距周边恒定宽度的部分)上存在薄膜的情况下，存在薄膜与安装在周边部的金属框等短路，或是由水分等从周边部浸润而导致发电性能降低的危险。因此，在形成薄膜之后，需要进行除去存在于在基板的周边部上的薄膜的工序，即除边。

除边有使用例如喷砂处理法的方法。在喷砂处理法中，利用气体向周边部上的薄膜喷射研磨粉，从而物理上除去薄膜。但在喷砂处理法中存在由研磨粉也飞散至发电区域而导致发电性能降低，或是产生大量粉尘等问题。除此之外，虽然有利用旋转的砥石直接研磨的方法或利用药液蚀刻的方法等，但分别在生产性的方面等存在问题。因此，近年来对使用激光的除边进行研究。

例如，在专利文献1中公开有使用激光的太阳能电池模块的制造方法等。在该制造方法中，通过激光，除去顺次层叠于透光性基板上的透明导电层、光电转换层、里侧电极层中的里侧电极层及光电转换层从而形成防溢料槽。然后，通过利用激光除去防溢料槽的外侧(周边的区域)的透明导电层、光电转换层、里侧电极层来形成周边分离槽。此时，照射激光的方式为，使激光束图案的端部与防溢料槽重叠，且激光束图案的中央部到达防溢料槽的外部。通过这样形成周边分离槽，防止由透明导电层的残渣附着在槽的壁面上而产生的里侧电极层与透明电极层的短路(分流)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-66453号公报(段落[0056]，图7B)

发明内容

然而，在专利文献1所述的使用激光的太阳能电池模块的制造方法中，在形成周边分离槽时，在激光束图案的中央部一并除去透明导电层、光电转换层及里侧电极层。在此，在一并除去透明导电层、光电转换层及里侧电极层的情况下，从透光性基板侧所照射的激光被里侧电极层反射，热量聚集导致在激光束所照射的部分存在透光性基板产生裂纹的危险。可以认为裂纹不仅与制造的太阳能电池的外观变化有关，还会成为导致太阳能电池面板的破损或质量降低，特别是经过多年水分等的浸润导致发电性能降低等的原因。

鉴于以上情况，本发明的目的在于提供一种可以防止分流及裂纹产生的、包括激光除边工序的太阳能电池制造方法及该制造方法所使用的太阳能电池模块的制造装置。

为实现所述目的，本发明的实施方式涉及的太阳能电池模块的制造方法通过从透明基板侧向层叠体照射第一激光，除去所述第一激光所照射的第一区域内的所述光电转换层及所述里侧电极层，其中所述层叠体包括所述透明基板以及在所述透明基板上顺次形成的透明电极层、光电转换层及里侧电极层。

并且，通过在所述第一区域内，以与所述第一区域分离的方式照射具有与所述第一激光不同的特性的第二激光，除去所述第二激光所照射的所述第二区域内的所述透明电极层。

为实现所述目的，本发明的实施方式涉及的太阳能电池模块的制造装置中，向包括透明基板和在所述透明基板上顺次形成的透明电极层、光电转换层及里侧电极层的层叠体照射激光，并且所述太阳能电池模块的制造装置包括：激光振荡部、输出调节机构、平台、位置控制机构。

所述激光振荡部，生成具有包含在红外线波长域内的波长的激光；

所述输出调节机构，在除去所述光电转换层及所述里侧电极层时，通过调节所述激光的输出来形成第一激光，以及在除去所述透明电极层时，通过调节所述激光的输出来形成具有比所述第一激光更高的输出的第二激光；

所述平台载置所述层叠体；

所述位置控制机构，控制所述激光振荡部与所述平台的相对位置，从而使得第二区域包含在第一区域中，并且所述第二区域的周边与所述第一区域分离；其中所述第一区域是通过向所述层叠体照射所述第一激光而形成，所述第一区域中所述光电转换层及所述里侧电极层，以及所述第二区域是通过向所述层叠体照射所述第二激光而形成，所述第二区域中所述透明电极层被除去。

附图说明

图1是表示第一实施方式涉及的太阳能电池模块的制造方法的流程图；

图2是表示在层叠体制成工序中制成的层叠体的结构的剖视图；

图3是表示在层叠体制成工序中制成的层叠体的俯视图；