[发明专利]调整阀装置

权利要求书

1.一种调整阀装置，其特征在于，包括：

具有阀体头部的阀体；

动力传递部件，其与所述阀体连结，向所述阀体传递动力；

以能够滑动的方式内置所述阀体的阀箱；

第一波纹管，其一端紧固在所述动力传递部件上，另一端紧固在所述阀箱上，由此，相对于所述动力传递部件在与所述阀体相反一侧的位置形成第一空间；

第二波纹管，其一端紧固在所述动力传递部件上，另一端紧固在所述阀箱上，由此，相对于所述动力传递部件在所述阀体一侧的位置且由所述第一波纹管和所述第一空间分隔的位置形成第二空间；

与所述第一空间连通的第一配管；和

与所述第二空间连通的第二配管，

根据从所述第一配管供给至所述第一空间的工作流体和从所述第二配管供给至所述第二空间的工作流体的压力比率，从所述动力传递部件向所述阀体传递动力，由此，利用所述阀体头部来开关形成于所述阀箱中的搬送路径，

所述阀体头部的维氏硬度比该阀体头部所接触的搬送路径的阀座面的维氏硬度硬，其硬度差大概是200～300Hv。

2.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述阀座面的维氏硬度大概是400～500Hv。

3.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述阀座面是在基材上堆焊钨铬钴合金的金属的表面。

4.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

对所述阀体头部实施镀镍类合金处理。

5.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述阀体头部的与所述搬送路径抵接的部分是锥形形状，

所述阀体头部的与顶端面垂直的部分的锥形角度θ是40°～80°。

6.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述阀体头部的与所述搬送路径抵接的部分是圆弧形状，是具有所期望的曲率半径的结构。

7.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述阀座面形成为锥形形状或圆弧形状。

8.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述调整阀装置在大概25℃～500℃的环境下使用。

9.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述调整阀装置向所述第一空间和所述第二空间供给所期望的不活泼性气体作为工作流体。

10.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述调整阀装置向所述第一空间和所述第二空间供给所期望的液体作为工作流体。

11.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述调整阀装置的操作压力是0.2～0.6MPa。

12.如权利要求1所述的调整阀装置，其特征在于：

所述调整阀装置用于开关将对被处理体进行成膜的有机分子搬送至被处理体附近的搬送路径。