[发明专利]调整阀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种利用气体来开关阀体的调整阀装置。

背景技术

在使用气体对被处理体进行所期望的处理的制造装置中，在多数情况下设置有向处理室搬送气体的搬送路径，并在该搬送路径中设有用于开关和进行流量调整的调整阀。例如，在专利文献1中记载的调整阀装置中，在阀体的入口和出口之间，在同轴线上配置开关阀和流量调整阀。开关阀与流量调整阀串联地配置，开关阀的操作机构和流量调整阀的操作机构分别单独地形成。当开关阀位于打开位置时，边使流量连续地变化，边将流量调整阀在节流位置和打开位置之间切换。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-153235号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，当进行阀体的开关操作时，因阀体与阀体所抵接的阀座面之间的机械干扰、和组装时产生的阀体与阀座面的细微偏离，具有在阀体的开关部分产生泄漏的问题。特别是，当阀体重复抵接阀座面时，具有出现粘着和烧接而产生大的泄漏的问题。例如，在有机EL装置中，在蒸镀源中蒸发的成膜材料（有机分子）和运载气体一同通过搬送路径被搬送至基板。在搬送过程中，考虑附着系数，为了避免成膜材料附着在搬送路径的内壁上，所以使搬送路径为300℃以上的高温状态。当在这种状态下重复进行阀体的开关操作时，除了机械干扰之外还会受到热的影响，导致在阀体和阀座面之间产生摩擦和溶解，产生粘着和烧接，阀体的开关精度下降，难以控制气体。

因此，为了解决上述课题，本发明提供一种调整阀装置，其通过优化阀体和阀体所抵接的阀座面的结构来提高阀的开关精度。

用于解决课题的方法

即，为了解决上述课题，本发明提供一种调整阀装置，包括：具有阀体头部的阀体；动力传递部件，其与上述阀体连结，向上述阀体传递动力；以能够滑动的方式内置上述阀体的阀箱；第一波纹管，其一端紧固在上述动力传递部件上，另一端紧固在上述阀箱上，由此，相对于上述动力传递部件在与上述阀体相反一侧的位置形成第一空间；第二波纹管，其一端紧固在上述动力传递部件上，另一端紧固在上述阀箱上，由此，相对于上述动力传递部件在上述阀体一侧的位置且由上述第一波纹管和上述第一空间分隔的位置形成第二空间；与上述第一空间连通的第一配管；和与上述第二空间连通的第二配管。根据从上述第一配管供给上述第一空间的工作流体与从上述第二配管供给上述第二空间的工作流体的压力比率，从上述动力传递部件向上述阀体传递动力，由此，上述阀体头部开关形成于上述阀箱中的搬送路径，上述阀体头部的维氏硬度比该阀体头部所接触的搬送路径的阀座面的维氏硬度硬，其硬度差大概是200～300Hv。

据此，如图1所示，使用第一波纹管320b，相对于动力传递部件320a在阀体310相反一侧的位置形成第一空间Us，使用第一波纹管320a和第二波纹管320c，相对于动力传递部件320a在阀体一侧的位置形成第二空间Ls。根据供给第一空间Us的气体与供给第二空间Ls的气体的压力比率，能够使被夹在第一和第二空间的动力传递部件320a在阀体的关闭方向上或打开方向上滑动。该动力通过阀轴310c传递至阀体头部310a，由此，通过阀体头部310a和该阀体头部所接触的搬送路径的阀座面200a3的抵接或隔离，能够控制搬送路径的开关。

特别是阀体头部的维氏硬度比阀座面的维氏硬度硬，其硬度差大概是200～300Hv。当没有阀体头部和阀座面的硬度差，或者硬度差非常小时，就不会产生滑动效果，导致发生嵌入阀体的阀座面的嵌入操作不良。另一方面，当阀体头部和阀座面的硬度差过大时，阀座面的阀体头部所接触的部分就会受到损伤，泄漏量增大。如本发明那样，当使阀体头部的维氏硬度比阀座面的维氏硬度硬200～300Hv左右时，如图3A所示，通过开关时的阀体头部和阀座面的重复抵接，在2万次左右的开关次数下，在密封件上出现接触斑点，能够减少泄漏量。这样，能提高耐久性，延长调整阀装置的寿命。

上述阀座面的维氏硬度也可以大概是400～500Hv。

上述阀座面也可以是在基材上堆焊钨铬钴合金的金属的表面。

也可以对上述阀体头部实施镀镍类合金处理。

上述阀体头部的与上述搬送路径抵接的部分也可以是锥形形状，上述阀体头部的与顶端面垂直的部分的锥形角度θ是40°～80°。

上述阀体头部的与上述搬送路径抵接的部分也可以是圆弧形状，是具有所期望的曲率半径的结构。

上述阀座面也可以形成为锥形形状或圆弧形状。

上述调整阀装置也可以在大概25℃～500℃的环境下使用。