[发明专利]外观检查装置

权利要求书

1.一种外观检查装置，其包括：

输送单元，沿着特定的输送路径，输送检查对象物；

表面形状检查单元，检查由所述输送单元输送的所述检查对象物的表面形状；以及

表面图形检查单元，检查同样由所述输送单元输送的所述检查对象物的表面图形；且

该外观检查装置的特征在于：

所述表面形状检查单元包括：狭缝光图像摄像部，配设在所述输送路径附近，将带状狭缝光以其照射路线与所述检查对象物的输送方向正交的方式，照射到所述检查对象物表面，并且从摄像光轴沿着所述检查对象物的输送方向且与照射到所述检查对象物的狭缝光的光轴交叉的方向，拍摄对所述检查对象物照射所述狭缝光时的图像；以及形状判定部，依据由该狭缝光图像摄像部拍摄的图像，辨识所述检查对象物表面的形状特征，判定该形状是否合适；

所述表面图形检查单元包括：灰度图像摄像部，相较所述狭缝光图像摄像部配设在上游侧或下游侧的所述输送路径附近，对所述检查对象物的表面照射漫射光，拍摄由该漫射光照明的检查对象物表面的灰度图像；以及图形判定部，依据由该灰度图像摄像部拍摄的灰度图像，辨识所述检查对象物表面的图形特征，判定该图形是否合适；

进而，所述图形判定部构成为从所述形状判定部接收与至少所述检查对象物表面的存在凹凸部的区域相关的信息，将接受信息的区域设定为不进行检查的非检查区域、或者以比其他区域中的检查灵敏度低的灵敏度进行检查的低灵敏度检查区域，判定所述图形是否合适。

2.根据权利要求1所述的外观检查装置，其特征在于：

所述狭缝光图像摄像部是在垂直方向上照射所述狭缝光，并且从所述检查对象物的输送方向上游侧及下游侧两个方向分别拍摄图像，且

所述形状判定部构成为将由所述狭缝光图像摄像部拍摄的两个图像合成，并依据合成的图像，辨识所述检查对象物表面的形状特征，判定该形状是否合适。