[发明专利]纯铜板的制造方法及纯铜板有效
申请号: | 201080056379.8 | 申请日: | 2010-12-21 |
公开(公告)号: | CN102652182A | 公开(公告)日: | 2012-08-29 |
发明(设计)人: | 酒井俊宽;竹田隆弘;喜多晃一;牧一诚;森宏行 | 申请(专利权)人: | 三菱伸铜株式会社;三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | C22F1/08 | 分类号: | C22F1/08;B21B1/38;B21B3/00;C23C14/34;C22F1/00 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 康泉;王珍仙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 铜板 制造 方法 | ||
1.一种纯铜板的制造方法,其特征在于,实施热轧加工,该热轧加工中,将纯度为99.96wt%以上的纯铜锭在550℃~800℃进行加热,使总轧制率为85%以上且轧制结束时温度为500~700℃,实施所述热轧加工之后,以200~1000℃/分钟的冷却速度从所述轧制结束时温度骤冷至200℃以下的温度。
2.一种纯铜板,其特征在于,为根据权利要求1所述的制造方法制造的纯铜板,平均结晶粒径为30~80μm,皮克斯硬度为40~70,残余变形为3%以下。
3.根据权利要求2所述的纯铜板,其特征在于,结晶粒径在直方图中的峰值为20~80μm的范围内,以总频数的60%以上的频率存在,峰的半宽为70μm以下。
4.根据权利要求2所述的纯铜板,其特征在于,用作溅射用靶。
5.一种纯铜板的制造方法,其特征在于,实施热轧加工,该热轧加工中,将纯度为99.96wt%以上的纯铜锭在550℃~800℃进行加热,使总轧制率为80%以上且轧制结束时温度为500~700℃,实施所述热轧加工之后,以200~1000℃/分钟的冷却速度从所述轧制结束时温度骤冷至200℃以下的温度,之后以25~60%的轧制率进行冷轧并退火。
6.一种纯铜板,其特征在于,为根据权利要求5所述的制造方法制造的纯铜板,平均结晶粒径为10~80μm,皮克斯硬度为40~120。
7.根据权利要求6所述的纯铜板,其特征在于,结晶粒径在直方图中的峰值为10~80μm的范围内,以总频数的60%以上的频率存在,峰的半宽为60μm以下。
8.根据权利要求6所述的纯铜板,其特征在于,用作溅射用靶。
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